仪器分类: | 正置 | 放大倍数: | 可选 |
FPD/LSI检查显微镜
集尼康光学技术于一身的CFI60光学系统,在亮度、对比度和可操作性能方面都达到zuixin的高度,适合于大直径硅片或大型液晶板的高级检查。
最大观察样品:Ø300 mm晶片
L300ND/反射.透射照明两用型
观察倍率15X~3000X(视目镜和物镜的组合而定);
使用CFI60光学系统,彻底消除耀斑影响,对比度更高,成象更加清晰、明亮;
物镜齐焦距为60mm,可以兼顾高数值孔径和长工作距离两方面的要求;
主机刚性高,具有很好的抗振性能,具有防尘、防污染、防静电功能;
光亮调节、孔径调节、物镜转换等操作都集中在前面,使用方便,即使长期操作也不易产生疲劳;
技术参数 | ||
ECLIPSE L300N | ECLIPSE L300ND | |
(落射照明型) | (透射/落射照明型) | |
主机 | 内置12V-50W卤素灯光源;内置用于电动控制器的电源 | |
用于物镜转换器的电动控制器、卤素灯亮度控制、 | ||
光圈叶片控制器 | ||
物镜转换器:具备物镜转换器 | ||
对中功能的电动通用六座物镜转换器 | ||
— | 反射/透射切换器 | |
调焦 | 对焦部:行程29mm | |
粗调:12.7mm/转(可扭距调节.带重新对焦机能) | ||
微调:0.1mm/转(以um为单位) | ||
反射 | 12V50W高亮度卤素灯照明装置 | |
孔径光阑(电动.可调心)、视场光阑(固定.带对焦目标) | ||
可插入小孔光阑滑块(OPTION) | ||
可插入∮25mm滤光片(NCB、ND2、ND4)、起偏器/检偏器 | ||
观察方法:明场、暗场、简易偏光、微分干涉、反射荧光 | ||
(仅用于L300N/L300ND/L200ND) | ||
透射 | — | 12W50W高亮度卤素灯 |
内置孔径光阑 | ||
内置LWD聚光器 | ||
接口 | USBx1,RS232C(用于Intensilight)x1 | |
镜筒 | L2-TTA超大视场正立调倾式三目镜筒(视角0~30°) | |
视场数25、光分光100:0/0:100 | ||
L2-TT2A超大视场正立调倾式三目镜筒(俯角0~30°) | ||
视场数25、光分光100:0/20:80 | ||
LV-T13正立三目镜筒 | ||
视场数25、光分光100:0/0:100 | ||
目镜 | CFI目镜 | |
物镜 | CFI60系列物镜 | |
载物台 | 14x12载物台、行程354mmx302mm | |
(透射观察范围:354mmx268mm) | ||
带粗/微动切换功能 | ||
微动手轮位置固定 | ||
防静电 | 从1000到10V放电时间在0.2秒以内 | |
耗电 | 1.2A/90W | |
尺寸 | 约360(W)x581(H)x951(D)mm(倾斜角度为10°时) |
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