Harrick基本型等离子清洗机 核心参数
自动化: | 手动 | 样品腔尺寸: | 长6.5英寸,直径3英寸 |
样品腔容积: | 0.75L | 射频功率: | 18W |
频率: | 50Hz |
详细介绍
Harrick基本等离子清洁器是一种紧凑的、廉价的桌面型等离子仪器,带有铰链门、观察窗和精细控制计量阀,适用于纳米级表面清洁和小样品的激活。
主要特征
紧凑型桌面装置
可调节RF功率设置(低,中,高)
最大射频功率18W
包括3“直径x 6.5”长度
铰链门带观察窗
主动风扇冷却
用于真空泵的整体开关
1/8“NPT计量阀定性控制气体流量和腔室压力
1/8“NPT三通阀快速切换引入气体,排气和隔离腔
重量:13磅
尺寸:8.5”H x 10“W x 8”D
可选 PlasmaFlo气体混合器允许定量控制
最多两种的工艺处理气体,并在真空压力的监测
可选石英腔室和样品盘
产品优势
1.完全彻底地清除表面有机污染物。
2.清洗快速、操作简便、使用和维护成本极低。
3.非破坏性、对被清洗物表面光洁度无损害。
4.绿色环保、不使用化学溶剂、无二次污染。
5.常温条件下清洗,被清洗物的温度变化微小。
6.能清洗各种几何形状、粗糙程度各异的表面。
2.清洗快速、操作简便、使用和维护成本极低。
3.非破坏性、对被清洗物表面光洁度无损害。
4.绿色环保、不使用化学溶剂、无二次污染。
5.常温条件下清洗,被清洗物的温度变化微小。
6.能清洗各种几何形状、粗糙程度各异的表面。