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嵌入式在线诊断方式
免费离线分析软件
精细的历史数据功能，帮助用户有效存储，重现与绘制测试结果
详细介绍
F60 薄膜厚度测量仪
生产环境的自动测绘
Filmetrics F60-t 系列就像我们的 F50产品一样测绘薄膜厚度和折射率，但它增加了许多用于生产环境的功能。 这些功能包括凹槽自动检测、自动基准确定、全封闭测量平台、预装软件的工业计算机，以及升级到全自動化晶圆传输的机型。
不同的 F60-t 仪器根据波长范围加以区分。 较短的波长 (例如， F60-t-UV) 一般用于测量较薄的薄膜，而较长的波长则可以用来测量更厚、更不平整以及更不透明的薄膜。
附加特性
产品优势
依靠 F60光学膜厚测量仪的光谱测量系统，可以很简单快速地获得薄膜的厚度分布图。采用 r-θ 极坐标移动平台，可以非常快速的定位所需测试的点并测试厚度，测试非常快速，大约每秒能测试两点。用户可以自己绘制需要的点位地图。在约 45 秒的时间就可以扫描完标准 49 点分布图。
