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薄膜力学性能测量

 
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R54四探针电阻率测量仪
  • 品牌: 美国KLA
  • 型号:R54
  • 产地:美国
  • Filmetrics R54是KLA薄膜电阻和导电率测绘系统,从半导体制造到实现可穿戴技术所需的柔性电子产品,薄膜电阻监控对于任何使用导电薄膜的行业都比较重要。R54在功能上针对金属薄膜均匀性测绘、离...

R50四探针电阻率测量仪
  • 品牌: 美国KLA
  • 型号:R50
  • 产地:美国
  • 四点探头和涡流探测系统 以矩形,线性,极性和自定义配置 X-Y行程可达200mm 在导体和半导体薄膜上测量方块电阻的范围较大 接触式和非接触式测量

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