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北京正通远恒科技有限公司
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PLD激光分子束外延系统  Pioneer 180 MAPLE PLD
  • 品牌:美国Neocera
  • 型号: Pioneer 180 MAPLE PLD
  • 产地:美国
  • 样册:暂无
  • 供应商报价: 面议
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详细介绍

产品简介

基质辅助脉冲激光蒸发(MAPLE)是PLD的一种变体。这是由NRL集团引入的,以促进某些功能有机材料的薄膜沉积。基于UV (5-6 eV)的传统PLD技术可能不适用于这种情况,因为光化学反应可能会恶化有机分子、聚合物等的功能。在MAPLE中,通过将待沉积的有机物(或聚合物)与吸收激光波长的溶剂(基质)混合来制备特殊的靶。除了光学吸收外,在沉积条件下的高蒸气压是基质的先决条件。然后用液氮冷却液体目标物,使其冻结为固体。激光辐射主要被目标的高挥发性、冷冻的溶剂(基质)分子吸收,这些分子随后从固体目标中脱离,捕获和带走感兴趣的有机分子。在它们向基片传输的过程中,高挥发性的基质分子被抽走,将有机分子输送到基片上沉积薄膜。


产品特点

独立的MAPLE PLD系统。

有机和聚合物薄膜的沉积。

在同一室的附加沉积源(可选):脉冲电子沉积(PED)、射频/直流溅射和直流离子源。

负载锁定基底阶段。

与XPS分析系统集成,晶片就地从PLD系统转移到分析系统


技术参数

1. PLD真空室尺寸:12 " / 18”直径(Pioneer 120-Advanced/ Pioneer 180 Models).

2. 衬底尺寸:直径2“和/或多种1厘米x1厘米的样品。

3. 衬底加热:500℃,拥有可编程的加热器。

4. 基底旋转:20 RPM。软件控制。

5. 目标阶段:液氮冷却;单目标阶段为标准;多个目标(可选)

6. 真空装夹:衬底负载制动

7. 工业废气:按要求处理气体。50 - 100 SCCM mfc电池

8. 软件:Windows 7/Labview 2013。


应用领域

脉冲激光沉积(Pulsed Laser Deposition)是一种用途广泛的薄膜沉积技术。脉冲激光快速蒸发靶材,生成与靶材组成相同的薄膜。PLD 的独特之处是能量源(脉冲激光)位于真空室的外面。这样,在材料合成时,工作压力的动态范围很宽,达到10-10 Torr ~ 100 Torr。通过控制镀膜压力和温度,可以合成一系列具有独特功能的纳米结构和纳米颗粒。另外,PLD 是一种“ 数字” 技术,在纳米尺度上进行工艺控制(Å/pulse)。
• Neocera 在PLD 设备与工艺开发方面具有不可超越的经验
• Pioneer 系列PLD 系统是全\球研发领域最为广泛使用的商业化系统
• Neocera 不仅为客户提供最基本的PLD 系统,也提供完整的PLD 实验室交钥匙方案


产品优势
独立的MAPLE PLD系统。

有机和聚合物薄膜的沉积。

在同一室的附加沉积源(可选):脉冲电子沉积(PED)、射频/直流溅射和直流离子源。

负载锁定基底阶段。

与XPS分析系统集成,晶片就地从PLD系统转移到分析系统
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