产品信息
Magma磁场成像显微镜系统（简称Magma）是Neocera Magma公司研发的一种新型半导体失效分析工具。它拥有一套独特的传感器和技术，可以检测和定位所有静态缺陷。
Magma具有极大的可靠性，适用于探测开路、短路、漏电和高电阻开路的位置。此外，磁场成像可用于生成3D故障分析的深度信息，甚至可以用于多层器件。
在半导体失效分析领域，Magma可以定位微电子系统中的所有静态缺陷（短路、漏电和开路）。它可以容纳Die-level互连的300毫米晶圆、封装的PC板、以及所有类型的封装器件，包括各种具有异质集成的多芯片模块器件、叠层器件、3DICs和SiP。
新型平台的设计使用了终端用户的输入，以提供用户友好型的设置和操作，以及更高的工作量和更低的运营成本。
基础配置：配备高灵敏度的SQUID传感器，用于低电流、无损检测短路、漏电和高电阻开路。可实现低成本定位，用于检测封装器件和PC板中的短路及漏电。
EFI工具：能够以极高的精确度检测失效的开路故障。
HiRes工具：将两个传感器组合成一个工具。在靠近电流扫描时，SQUID传感器用于检测尽可能最小的电流，磁阻传感器用于获得较好的空间分辨率。因此，其具有两方面的优点：空间定位和灵敏度。
仪器参数
特点 | 详情 |
SQUID 传感器 | |
短路缺陷定位(SQUID) | 3um |
空间分辨率 (SQUID) | 2um |
总扫描面积 (SQUID) | 至\少 100mm by 100mm |
当前灵敏度 (SQUID) | · 500nA @ 333um · 1.5uA @ 1000um |
磁敏感性 (SQUID) | 15 pT/√Hz Typical |
成像深度 (SQUID) | 10mm |
工作频率 (SQUID) | DC to 25kHz |
HiRes 传感器 | |
短路缺陷定位 (HiRes) | 250nm |
空间分辨率 (HiRes) | 500nm |
总扫描面积 (HiRes) | At least 100mm by 100mm |
当前灵敏度 (HiRes) | · 5uA @ 2um · 100uA @ 100um |
磁敏感性 (HiRes) | 10nT/√Hz Typical |
工作频率 (HiRes) | 10kHz to 200kHz |
成像深度 (HiRes) | <100um |
Opens断路 | |
断路缺陷定位 (SDR) | 30um |
成像深度 (Opens) | <500um |
工作频率 (Opens) | 20MHz to 200MHz |
其他参数 | |
功能发电机 | ±10V @ 100mA |
功能发电机频率 | DC to 200kHz |
镜头分辨率 | 2um (in NIR or Visible) |
电源 | · 110 - 120V @ 20A · 220 - 240V@ 10A |
操作系统 | Windows 10 64-bit |
产品应用
该仪器是检测模具、封装或PC板水平上所\有类型静态缺陷(短路、泄漏、高电阻开启和断路开启)的很好的工具。该仪器结合了两个传感器的功能，实现了很好的灵敏度和亚微米的分辨率的统一。这允许单个系统可以处理静态缺陷。
1.解决了静态缺陷:短路、泄漏和断路。
2.三维缺陷定位计算样本表面到当前路径的距离，当直流电迹可用时，新的软件能够在三维重建当前路径。
3.由于磁场渗透材料，SQUID 传感器可以很自然的发现封装短路故障。
4.使用大于500nm空间分辨率的HiRes传感器定位模具短路。磁场分辨率不受波长的限制，只受传感器尺寸和扫描距离的限制。
5.在500nA电流灵敏度下，可以发现ω电阻的泄漏。
6.使用SDR技术，在检测电流产生的射频磁场时，应用高频信号(20MHz至200MHz)，可以发现故障。
