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北京正通远恒科技有限公司
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高级型脉冲激光沉积系统  Pioneer 120 Advanced PLD
  • 品牌:美国Neocera
  • 型号: Pioneer 120 Advanced PLD
  • 产地:美国
  • 样册:下载
  • 供应商报价: 面议
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详细介绍

产品简介

Pioneer 120 Advanced PLD System 是一个用于制备高质量的外延薄膜独立的系统、多层异质结构和各种材料的超晶格。这个PLD系统和the Pioneer 120 PLD System 的主要区别是衬底加热阶段。先锋120采用导电加热阶段,而Pioneer 120 Advanced PLD System 采用辐射加热阶段。加热器可兼容1大气压(760托)的氧气,这是一特性用于制备外延氧化膜,需要(i)沉积在氧气中,(ii)沉积后退火在氧气中,以及在接近1大气压的氧气中冷却。由于基底不与加热器直接连接,可以连续旋转360度。衬底也可以负载锁定。

这个脉冲激光沉积系统包括一个自动多目标转盘,带有目标旋转、目标光栅和软件控制的多层和超晶格沉积所需的目标选择。闭环压力控制提供了使用质量流量控制器的精确过程压力控制。干式泵是由机械隔膜泵或涡旋泵支持的涡轮分子泵组合而成。该系统软件(Windows 7, LabView 2013) 控制基材加热器、目标转盘、过程压力、系统泵和激光触发。由于衬底可以转移,可进行多种选择。这些包括但不限于将PLD系统与各种其他沉积平台(如超高真空溅踱系统)集成,也与超高真空分析系统(如XPS/ARPES等)集成。


技术指标

衬底尺寸:10mm x10mm到直径2英寸

沉积室:直径12英寸

衬底温度:850°C,辐射加热器,氧兼容

多目标传送带:6 × 1英寸或3 × 2英寸

质量流量控制器(s):一个MFC氧气是标准的,更多的MFC是可选的

软件控制:Windows 7, Labview 2013

升级:RHEED, RF-DC溅射/ DC离子源,LAXS, IES,激光加热器




产品优势
独立的交钥匙PLD系统。
外延薄膜、多层异质结构和超晶格的沉积。
利用原位RHEED诊断技术沉积纳米级薄膜。
氧化膜沉积的氧相容性。
升级:负载锁定,激光加热器,RF/DC溅射,组合PLD
与超高真空溅踱系统集成。
与XPS /ARPES超高真空集群工具集成。



技术文档
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