真空热压烧结炉
概述：
本电炉有石墨加热及钼丝加热两大类，适用于金属粉末、无机非金属材料等子真空、高温、热压下进行烧结，当然也可以再保护气氛下进行烧结。从而完成材料的致密化，防止变形，还具有YZ纳米粉末晶粒粗大的作用。
主要参数
l 1、额定功率：40Kw
l 2、电源电压：380 V
l 3、加热方式：石墨碳管
l 4、额定温度：2100 ℃
l 5、工作区尺寸：Ф160×160mm（D×H）
l 6、加热电极：三相
l 7、压头直径：Ф85 mm
l 8、最大压力：20 T（数显、自动调压、自动保压）
l 9、压力波动：≤±0.1 MPa、 位移精度0.02 mm
l 10、压力行程：0～100 mm（数显）
l 11、液压控制：电动
l 12、空炉冷态极限真空度：6.67×10-3 Pa（冷态）
l 13、压升率：≤ 2.0 Pa/h
l 14、温度控制方式：室温-2100℃钨套管钨铼热电偶
l 15、温度控制精度：≤ ± 1 ℃
l 16、气氛保护：氮、氩
l 17、充气压力（微正压）：≤ 0.03MPa
结构组成
l 1、炉体
l 2、炉盖
l 3、炉底
l 4、真空系统
l 5、发热元件及隔热屏
l 6、炉架
l 7、液压系统
l 8、温控系统
l 9、变压器及连接电缆
结构说明
1、炉体：采用双层水夹层结构，内壁为304不锈钢（SUS304）精细抛光，外壁304不锈钢喷砂亚光处理（内外层均使用不锈钢材质，美观、大方。可避免在长时间使用的情况下出现锈斑等现象）。上、下不锈钢法兰组焊成筒型结构，法兰平面开设密封槽，采用“0”型圈真空密封，并设水冷装置（防止因温度过高“0”型圈老化），设有钨套管钨铼热电偶测温孔、抽气孔、观察孔及屏蔽。
（304不锈钢炉壳）
l a、热电偶采用我公司自主研发的钨套管钨铼热电偶,采用进口超高温绝缘材料使热电偶可从室温直接测到2100℃，且在2100℃高温环境下长时间使用，不易断偶、使用寿命长、测温准确（达到±1℃的测温误）差等特点。彻底解决了常规红外仪测温不准、易干扰等缺陷。
l b、炉体上还装有一支K型监测热电偶，检测保温层温度，主测温装置一旦出现故障，将自动切断加热程序并报警，起到保护设备和烧结工件的安全性。
2、炉盖：采用双层夹层封头结构，内壁为不锈钢（SUS304）精细抛光， 外壁不锈钢亚光处理组焊而成并设置凸轮启开结构，操作手柄将炉盖顶升10～15mm移开炉盖，便于进出料操作方便灵活、炉盖上设水冷不锈钢压头、保护气体自动排气CKD电磁阀，压紧装置、炉盖锁紧装置等.
3、炉底：同样采用双层水冷封头结构，固定在炉体底部并设有电极引入装置、水冷不锈钢下压头可调节高度，保护气体自动充气CKD电磁阀，并安装高精度位移传感器。
4、真空系统：采用二级泵配置，由壹台2X-30机械泵、壹台TK-200凸腔式油扩散泵配冷阱（防止油蒸气进入炉膛）、气动高真挡板阀、充保护气氛阀（Ar、N2）、放气阀、气动动蝶阀、真空压力表等组成，真空管道与泵的联接采用金属波纹软管快速接头联接（减缓震动），真 空度的测量由数显复合真空计执行。
(TK-200凸腔式油扩散泵) (2X-30机械泵)
5、发热元件及隔热屏：采用高纯石墨制作成圆形筒型发热体，隔热屏采用石墨碳毡及石墨筒保护，外用不锈钢体加固，具有隔热效果好，耐热冲击性好，便于快速加热，上下压头采用高强度石墨块。随炉赠送上压头孔保温塞壹个。
6、炉架：由上下横梁与双立柱、箱体等组成，作为上下压头支座。
7、液压系统：采用电动输入方式。由液压站配有进口比例阀压力调节器、压力传感器、液压缸等相关液压装置，通过仪表设定压力，并能实现稳压、保压。
(20T液压站)
（触摸屏压力测试示意图，其中红色线与绿色线重叠，测试压力浮动较稳定，压力波动较小）
8、水冷系统：采用密闭式，由管道、阀等相关装置组成。由各种管道阀等相关装置组成。冷却水总管进入后，经过各支管送到炉体、炉盖、炉底、水冷电极等需要冷却水的地方，然后汇总到水管排除。冷却水循环水管采用黑色橡胶管，不锈钢接头与橡胶管采用压制连接。总进水管路设有电接点压力表，具有断水声光报警自动切断电源功能。每路冷却水进水管都装有手动不锈钢阀门，可手动调节水流量大小。
9、温控系统：具有8组P.I.D功能全自动控制，具有超温声光报警功能，电控系统还具有过流、断水、超温等声光报警功能。电器元件采用欧姆龙或施耐德品牌，电控屏箱按威图标准制作,操作方便。
电气控制系统集中在控制柜中，面板上设计了15寸液晶触摸屏、数显电流及电压表、温控仪、真空计等。控制柜为标准电控柜结构，集成了通风系统。能够保证不会因为环境温度过高而影响柜内元件及仪表的正常使用。
控制部分以15寸触摸屏和可编程控制器PLC为核心，配以空气开关、接触器、继电器、指示灯等元器件，通过各种传感器的信号，实现炉体机械机构的逻辑控制。对温度、真空度进行记录、存储、实时显示、设定工艺曲线，具有多组工艺配方的储存、调用功能。全部工况动作配有安全联锁保护，具有超温断电，停水断电（停止加热、真空泵等)。设置必要的声光报警及保护，例如超温、水压低、气压低等，设置有应急开关。
10、变压器及联接电缆：选用与使用功率相匹配的干式变压器及电缆。
11、随炉配备一台小型静音空气压缩机，供打开气动真空阀使用。
技术实力：我公司拥有专业技术人员8人，皆从事电炉设计，硅钼棒生产研究十三年以上，具有丰富的经验积累，成熟的设计理念，及新开品开发创新能力。技术工人23人，工龄皆在3-10年之间，透彻了解各个工序的质量控制，确保出厂产品合格率达到1**%。
销售网络：我公司生产电炉已应用在国内60多所大专院校及20多家企业单位，并出口至美国，德国，意大利，韩国，新加坡，伊朗，土耳其，巴西，埃及等10几个国家。并为美国CVD领域提供真空管式炉OEM代工。
