HRP®-260 探针式轮廓仪

HRP®-260的双平台功能可以进行纳米和微米表面形貌的测量。 P-260配置提供长扫描（最长200mm）的功能，无需图像拼接，HRP®-260提供高分辨率扫描平台，扫描长度可达90μm。 P-260结合了UltraLite®传感器、恒力控制和超平扫描的功能，实现了出色的测量稳定性。 HRP®-260采用高分辨率压电扫描平台提高性能。 通过采用点击式平台控制、低倍和高倍率光学系统以及高分辨率数码相机，其程序设置快速简便。 HRP®-260支持二维和三维测量，具有各种滤镜、调平和数据分析算法，以量化表面形貌。 并且通过自动晶圆装卸、图案识别、排序和特征检测以实现全自动测量。

主要功能

·        台阶高：纳米至327μm

·        恒力控制的低触力：0.03至50mg

·        样品全直径扫描，无需图像拼接

·        视频：在线低倍和高倍放大光学系统

·        圆弧校正：消除由于探针的弧形运动引起的误差

·        软件：简单易用的软件界面

·        生产能力：通过测序、图案识别和SECS / GEM实现全自动化

·        晶圆机械传送臂：自动加载75mm至200mm不透明（例如硅）和透明（例如蓝宝石）样品

·        HRP：高分辨率扫描平台，分辨率类似于AFM

主要应用

·        台阶高度：2D和3D台阶高度

·        纹理：2D和3D粗糙度和波纹度

·        外形：2D和3D翘曲和形状

·        应力：2D和3D薄膜应力

·        缺陷复检：2D和3D缺陷表面形貌