产品中心

Mx 系列多轴位置调试系统是卓立汉光通过组合、优化等方法完成空间位置定位的解决方案。此系统由四轴及以上轴数组合而成。它可以在有限空间里提供*大维度的调整。多轴位置调试系统常应用于光路调整，人体位置模拟...

Gx 系列万向关节系统是卓立汉光为适应空间方位调节的高精度、高重复性和长寿命等情况专门设计的精密型电控关节系统。该系列产品主体材料采用硬质铝合金，表面黑色阳极氧化处理，外型美观。所有转台标配二相步进电...

HXP系列六轴并联机器人系统主要用于高精度的六自由度调整，尤其适合于空间精密对位、微小器件加工和装配、光通信器件调芯、晶片检验等场合。

PSAG 系列电动摆动滑台主体材料采用硬质铝合金，表面黑色阳极氧化处理，外形大方、美观。采用精密蜗轮蜗杆驱动，弧形V 型导轨导向，强度高、负载能力强、耐用性好。

TBRU系列高精密闭环电动旋转台说明： TBRU 系列产品是卓立汉光为解决全闭环使用、高重复性、高精密性而开发的高精密闭环电动旋转滑台。导向机构采用精密交叉滚柱轴环，轴系结构采用耐磨的精研蜗轮蜗杆，

台面尺寸最小仅16×16mm 超高真空&极低温兼容:2E-11mbar&30mk

Goniometerxx-theta/phi极低温线性压电摆动台特点： • 紧凑的设计，最小台面尺寸仅25×25mm • 超高真空 & 极低温兼容: 2 E-11 mbar & 30 mK

特点： • 紧凑设计, 最小台面直径仅16mm • 超高真空 & 超低温兼容: 2 E-11 mbar & 30 mK • 无磁材料（纯 Ti & BeCu），ZG兼容 1

特点： • 紧凑设计,提供16×16mm，25×25mm，35×35mm三种台面规格 • 超高真空 & 超低温兼容: 2 E-11 mbar & 30 mK • 无磁材料（纯 Ti

特点： • 紧凑设计,提供16×16mm，25×25mm，35×35mm，55×55mm多种尺寸版本 • 超高真空 & 超低温兼容: 2 E-11 mbar & 30 mK • 无磁

• 闭环分辨率优于 1nm

特点：

Carrier.S200.xy/xyz.C系列中空压电扫描台产品特⾊ • 两维度XY 扫描运动 200 um × 200 um； • 闭环定位精度优于 1nm； •

三维度XY扫描运动 30 um x 30 um x15 um

特点： • X方向扫描运动15um,3 um • 外形尺寸，62 mm x 40 mmx 13.5 mm,80 mm x 40 mmx 13.5 mm • 闭环分辨率优于0.1nm

亚纳米标准压电扫描台特点： • 紧凑设计、XYZ三轴在极小外形尺寸范围内做到较大行程 • 高负载，负载可至500g • 闭环精度优于1nm • 支持超高真空、无磁版本选用