压电 · 线性位移台— LS65x.Lab.O / .R (闭环)

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详细介绍

压电 · 线性位移台— LS65x.Lab.O / .R (闭环)

室温 ·压电运动解决⽅案 —“.Lab 系列“ 良好封装的位移台

外形紧凑，动⼒性能不折扣的压电线性台；同时保证优质的价格空间。

压电 · 线性位移台— LS65x.Lab.O / .R (闭环)产品特⾊

• 超安静运动， 20 kHz驱动频率

• 65 mm × 65 mm × 12 mm极紧凑外形设计

• 闭环控制 · 位置传感⽀持电阻型(.R) 和光学型(.O)

• ⾼精度 · 空间传感分辨率(.O) 1 nm 、10 nm可选

• 经济型 · 空间传感分辨率(.R) 100-200nm

• 最⼩步伐优于 10 nm

• 可提供多轴堆叠安装转接件

• 控制器兼容旋转台，摇摆台

• ⽀持⽆磁( .NM)、⾼真空( .HV)和超⾼真空 ( .UHV)选件

2D ·尺⼨图

LS65x.Lab.O / .R 压电线性台 — 技术参数

可选版本 ⇨		正常版本	.NM	.HV	.UHV
.NM 绝对⽆磁版本； .HV，⾼真空版本 ; .UHV ，超⾼真空版本；
1 底⾯尺⼨*⾼度		65 × 65 mm × 12 mm
2 主体材料		不锈钢	纯钛	不锈钢	不锈钢
3 线缆 & 接头		标准屏蔽线缆 DSub9 接头		kapton漆包线， PEEK-2mm插针
运动参数-空间推荐安装形式 I. (下列性质均在推荐安装形式下测得)
4 运动⾏程		30 mm
5 最⼤速度		~ 20 mm/s
6 最⼩步伐		~ 10 nm
7 驱动频率		Max. 20 kHz (超安静运动)
8 最⼤⽔平推⼒		2 N
9 保持⼒		5 N
		0.3 mrad / 0.2 mrad
10 全⾏程俯仰/偏摆
运动参数-空间推荐安装形式 II. (下列性质均在推荐安装形式下测得)
11	最⼤垂直负载	2 N
12	保持⼒	5 N
传感精度
13 位置传感类型		- 电阻型传感( .R ) - 光栅尺传感( .O )
14 位置传感量程		30 mm
15 位置传感分辨率		- 电阻型传感( .R )， 100-200 nm - 光栅尺传感( .O )， 10 nm， 1nm可选(默认 10nm)

主要用途

• 超安静运动， 20 kHz驱动频率
• 65 mm × 65 mm × 12 mm极紧凑外形设计
• 闭环控制 · 位置传感⽀持电阻型(.R) 和光学型(.O

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