ASM-XYZθΤ-1A 六维组合位移台 技术指标 ◆调整维数:六维 ◆行程: ●Tx,Ty:25mm ●Tz:5mm ●θz:360°●θx,θy:两维±5° 组合用产品: TSM25-1A精密平移台 两个 TSMV5-1A精密升降台 一个 RSM82-1A精密旋转台 一个 TSMT5-1A双轴倾斜台 一个
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