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圆形电子束光刻系统JBX-8100FS系列闪亮登场

发布:捷欧路(北京)科贸有限公司
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    圆形电子束光刻系统JBX-8100FS系列闪亮登场

    —实现了高产低耗—

    日本电子公司( 董事长兼总裁栗原权右卫门)推出的新产品—圆形电子束光刻系统JBX-8100FS系列于2017年3月上市。

    电子束光刻上市.jpg

    产品开发的背景

      圆形电子束光刻系统作为通用性强,制作超微细图形工具,已被广泛的应用于各种研发及生产领域中。Z小加工尺寸可达到数纳米〜数十纳米,但同时也存在着产能低、运行成本高等潜在的问题。为了突破这一瓶颈,JEOL开发了JBX-8100FS系列,通过全方位的设计优化,实现了更简便的操作,更快的刻写速度,更小的占地面积和安装空间,并且更加绿色节能。

    主要特征

    ☆ 节省空间

    标准的系统占地面积为4.9m(W)×3.7m(D)×2.6m(H),比以往机型占用空间更小,外形更加紧凑美观。

    ☆ 低功耗
    正常工作时的功耗约为3kVA,仅需以往机型耗电量的1/3。

    ☆ 高产能
    具备高分辨率和高速两种刻写模式,非常适用于超微细加工以及批量生产。该设备减少了刻写过程中的无谓耗时,并将扫描频率提升至业界Z高Z水准的125MHz (以往机型的1.25~2.5倍),使其具备更高的生产能力。

    ☆ 机型
    JBX-8100FS系列设有G1(基本版)和G2(全配版)两种机型。G1机型装机后也可进行升级,使其支持更高的应用需求。

    ☆ 新功能
    安装光学显微镜(选配)后,在避免光刻胶感光的的同时可对材料上的图形进行确认。设备还配备了信号塔(标配),实现了视觉范围内的系统运行状况监控。

    ☆ 激光定位分辨率 
    采用分辨率为0.6nm的激光干涉仪,对样品台位置进行高精度的量测控制。

    ☆ 系统控制 
    配备了Linux®系统,图形用户界面使操作更加简单,便于初学者使用。数据准备程序支持Linux®和Windows®


    备注:

    Linux® 为Linus Torval在日本及其它国家的注册商标或商标
    Windows为美国微软公司在美国及其它国家的注册商标或商标


2020-01-10
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