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捷欧路(北京)科贸有限公司
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BS/JEBG/EBG 系列电子枪
  • 品牌:日本电子
  • 型号: BS/JEBG/EBG
  • 产地:日本
  • 样册:暂无
  • 供应商报价: 面议
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详细介绍

  • 用于光学薄膜及电极膜等各种薄膜形成的电子束蒸镀用电子枪/电源。

  • 电子束蒸镀法的特征

  • 用电子束直接照射镀膜材料进行加热,因此热效率高,能蒸发高熔点金属、氧化物、化合物、升华性物质等各种材料。

  • 镀膜材料在水冷铜坩埚内(*)被直接加热,因此不会象电阻加热式或感应加热式那样与坩埚发生反应。
    *可能需要使用坩埚内衬。

  • 能迅速控制输出,因而能精确地控制膜厚。

  • 与溅射法及 CVD 法相比,能快速镀膜是一大特征。
    对形成1µm 以上的厚膜也很有效。

  • 日本电子制造的电子枪/电源的特征

  • [ 氧化物 ]

    电子束垂直照射镀膜材料,束斑近似圆形,具有能量密度高的特征。此外,由于标准配备了快速扫描功能,非常适合蒸镀融点高、热传导性低的氧化物及升华性材料,能获得良好的熔痕,大面积的镀膜区域上膜厚分布均匀,重现性好。

    [ 金属 ]

    坩埚的选择范围很大,能进行多种、大量、高速率的蒸镀,还有用来YZ成膜时温度上升的剥离工艺用电子枪。

    [ 合金复合膜 ]

    往临近的两个或三个坩埚内充填不同的材料,使用专用的扫描控制器进行双源或三源蒸发,可以形成合金膜和复合膜。

BS JEBG EBG参数.jpg

产品优势
用于光学薄膜及电极膜等各种薄膜形成的电子束蒸镀用电子枪/电源。
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