残余气体分析仪（四极质谱仪）

仪器简介：
HIDENRGA系列残余气体分析四极质谱仪(ResidualGasAnalysers)，检测容器中的存在组分，或进行过程中产生气体的分析。针对真空诊断的精确分析。

残余气体或泄漏检测
实际泄漏或脱附分析
除气研究
烘烤周期
泵效能
腔室/过程气体污染物


主要特点：
灵敏度PPM,质量数至300amu
稳定性（24小时以上，峰高变化小于±0.5%）
MASsoft软件控制，或由局域网进行多个系统控制
快速显示柱状图、趋势分析和信号峰
混合模式扫描－多个windows窗口显示信息，例如趋势、柱状图和信号峰
同步显示数据图，列表
同步背景扣除，自动质量数列表
数据输出为ASCII格式，至windows设备
即时动态数据交换至其他DDE兼容的windows软件，例如
Excel、SPC-IV统计过程控制软件等