等离子体刻蚀终点检测仪

仪器简介：
IMP离子蚀刻探针（IonMil领Probe）,自带差式泵，坚固的二次离子质谱仪，适于分析离子蚀刻过程中的二次离子和中性粒子.
独有的专业终点检测（EndPointDetection）仪器，用于离子蚀刻控制以及过程质量zuiyou化监测.

技术参数：
应用：
终点检测（End Point Detection）
靶的纯度鉴定
质量控制/ SPC.
残余气体分析
泄漏监测


主要特点：
特点：
高灵敏度的 SIMS/MS，带脉冲离子计数检测器
三级过滤四极杆，标准配置质量数为300 amu
差式泵歧管，经连接法兰，接到过程室
离子光学器件，带能量分析器和内置离子源
Penning规和互锁装置，以提供过压保护
数据系统与过程控制工具整合
稳定性(24h以上，峰高变化小于 ±0.5%)
通过 RS232、RS485或以太网， 软件MASsoft控制
程控DDE, 平行数字式I/O, RS232通讯