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使用FT150测量片式元器件电极膜厚

发布:日立分析仪器(上海)有限公司
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智能手机或车载电脑等使用的片式元器件,由于产品的小型化和多功能化,更加追求高密度的安装,部件本身也变得越来越小它们中电极部分使用Sn和Ni双层膜的情况较多,因此对其膜厚管理的追求也越高FT150系列配备了新型聚光光学系以及升级后的Vortex?检测器,可实现对今后越来越小型化片式元器件的电极部膜厚的高极ng确度Ni/Sn的同时测量此份资料中,介绍了使用FT150对陶瓷片式元器件冷凝器的Ni/Sn层进行膜厚测量,之后更进一步确认对样品断面研磨后的电极部膜厚案例 日立 FT150系列 荧光X射线镀层膜厚测量仪

2016-07-05
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