ETD-800型全自动离子溅射仪是依据二极(DC)直流溅射原理设计而成的,最简单、可靠、经济的镀膜设备。
适用于电镜实验室的扫描电子显微镜(SEM)样品制备,非导体材料实验电极制作。
主机规格
L307mm*W260mm*H260mm
电源规格
220V/50HZ110V60HZ可选
靶(上部电极)
金:直径:50mm,厚度:0.1mm
真空样品室
直径:160mm,高:120mm
定时器
最长时间:3600S
机械泵
2L/S
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