感谢您购买我公司的系列分子泵产品。该产品属于高真空和超高真空的真空获得设备。
在使用前请详细阅读和理解本说明书的各项内容，以便正确使用。不正确的使用，将可能造成运行不正常、设备故障、寿命降低，甚至危及人身安全。泵的操作人员必须仔细阅读并严格遵守本说明书中的条款。由于用户没有仔细阅读说明书、或未按照使用说明书的要求操作而造成的任何伤害和损失，我公司将不负担任何责任。
使用本资料后，务必进行妥善保管，以备使用。
凡购买我公司生产的分子泵，从发货之日起，用户凭保修单可保修一年。外地用户可延长一个月。在保修期内不收修理费，如需更换零件，一般核收半费，不超过半年可免费。
凡属下列情况之一的，不予保修：
1) 用户未经授权对产品私自拆卸；
2) 用户保管或使用不当（如雨淋、曝晒、进入杂物、撞击、强腐蚀环境、强放射性环境、强磁场环境等）；
3) 属于用户其他原因造成的损坏。
本说明书仅作为信息使用，如遇改版，恕不另行通知。如本说明书与实际产品有所出入，本公司拥有解释权。由本说明书引起、产生和包含的知识产权均属本公司所有1. 安全注意事项
在安装、运行、操作、维护检查前，必须熟悉本说明书内容，以保证正确使用。使用前也必须熟知一切有关安全注意事项。
1) 分子泵必须与其专用电源配套，同时与分子泵配套电源必须良好接地。
否则可能发生产品损坏、人员受伤、触电或干扰。
2) 分子泵及配套电源的维修必须返回公司由专业人员进行。
否则可能发生产品损坏、人员受伤或触电事故。
3) 分子泵的日常维护必须确认分子泵已停止转动、电源已断开、泵内气压已经与大气平衡后方可进行换油、查水等日常维护。
否则可能发生产品损坏、人员受伤或触电事故。
4) 湿手不能操作开关。
否则可能发生触电事故。
5) 不能带电接触电源后面板的接线及端子。
否则可能发生产品损坏或触电事故。
6) 分子泵运转过程中，不得对其进行猛烈冲撞或震动。
否则可能发生碎泵事故，并有可能造成其他损坏。
7) 分子泵启动前必须检查是否满足分子泵启动要求。
否则可能引起故障或造成分子泵损坏。
8) 分子泵电源必须断开电源15分钟以上，才能对其进行检查或接线。
否则可能发生触电事故。
2. 使用前有关事项
2.1 收货检查
检查收货的品名和数量是否和发货数量一致，包装箱有没有破损。
2.2 搬运
搬运时必须提取包装箱的底部，轻拿轻放，否则可能造成分子泵受损。对于较大的分子泵可用叉车进行搬运，搬运时注意不要碰撞底盘上的水、电、前级口的接口零部件，以防撞击后产生漏气或损坏。2.3 保管
2.3.1 短期保管
短期保管的环境条件
周围温度：-10～ +50℃
相对湿度：5～85%
环境：不要放在会发生温度急剧变化而结露和冰冻的地方。不能受阳光直射，不能放置于有腐蚀性气体、可燃气体、油雾、蒸汽或潮湿的环境中，不得在震动过大的环境中。
2.3.2 长期保管
购置分子泵后长期不使用的保管方法，随存放环境而不同。
一般按如下所述保管
首先满足短时保管要求但是保管期超三个月时，要求周围温度不得高于30℃，这
是因为考虑到电器元件不通电存放，温度高时其特性易变坏。
为了防止潮气影响，应严格封存，还要在封存时放入干燥剂，使封装内部的相对
湿度约在70%以下。
3. 分子泵应用简介
分子泵是一种获得高真空和超高真空机械式真空泵，其分为涡轮分子泵、牵引分子泵和复合分子泵三大类。涡轮分子泵是通过高速旋转的多级涡轮转子叶片和静止涡轮叶片的组合进行抽气的，在分子流区域内对被抽气体产生很高的压缩比，从而获得所需要的真空性能；牵引分子泵是利用高速旋转的转子表面带动气体分子沿着一定形状的槽隙运动，从而实现压缩气体，其在分子流到混合流之间有很高的压缩比，从而获得所需的真空性能；复合分子泵结合了二者的优点，利用了两种结构的有机结合和合理过渡，实现了分子流、混合流的高压缩比，从而获得所需的真空性能。分子泵对被抽气体无选择性、无记忆效应、操作简单、使用方便。由于对分子量大的气体具有很高的压缩比，因此在运转过程中，高真空区域不会受到油蒸汽的污染，该泵不需要冷阱和油挡板，即可获得清洁的高真空和超高真空环境。因此，它广泛应用于如下工业生产和探索研究的各个领域。
物理表面分析仪器的真空获得；
加速器技术的真空获得；
等离子体技术的真空获得；
航空航天的模拟环境的真空获得；
电子、电器元件制造的真空获得；
各种表面镀膜的真空获得等。
4. 分子泵型号、配件、适配电源
4.1 分子泵型号说明
我公司生产的分子泵的型号使用一串字母数字和符号共同组成，具体说明如下：
-□/□□
特殊代号
额定抽速（L/s）
气体入口口径
类型代号
说明：
类型代号： FB涡轮分子泵；
FF复合分子泵。
特殊代号： 无字符油润滑水冷却分子泵
F风冷分子泵
Z脂润滑分子泵
N耐腐蚀分子泵
4.2 分子泵适配电源
每种型号分子泵必须配用其专用电源，否则可能造成分子泵损坏。若由此引起的损失本公司概不负责。适配电源见表1。
表1 分子泵适配电源表
序号
分子泵型号
适配电源
1
FF-160/620、FF-160/620F、FF-160/620N
FK-620或FK-Ⅰ、Ⅱ、Ⅲ
2
FF-160/750、FF-160/750Z
FK-750或FK-Ⅰ、Ⅱ、Ⅲ
3
FF-200/1200
FK-1200或FK-Ⅰ、Ⅱ、Ⅲ
4
FB-250/1600、FF-250/1600、FF-250/2000
FK-1600或FK-Ⅰ、Ⅱ、Ⅲ
5
FB-400/4200
FK-4200或FK-Ⅰ、Ⅱ、
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5
4.3分子泵、配件及资料
表2 分子泵、配件及资料表
4.4 分子泵选购件
表3 选购配件表
序号名 称单位规格数量备 注
FF-160/750专用
FF-200/1200专用
FB-250/1600专用
2 螺栓、螺母、垫圈套M8×55 按型号确定CF高真空接口专用
3 CF铜垫圈个按型号订1
4 排气口盲板、卡箍套KF40 1
4 FF-160/750中LF接口分子泵
5 FF-200/1200中LF接口分子泵
6 FB-250/1600中LF接口分子泵
10 FB-400/4200
1
用户可根据
使用条件的
不同，选择
的最少用量
5 LF专用卡钳个
1 分子泵泵体加热器套
注：用户可以根据自己的使用情况，如：要获得超高及以上真空、泵壳必须烘烤等，
另外单独选购配件。
序 号名 称单位数 量备 注
1 分子泵台1
2 防护网个1
3 使用说明书份1
4 检验合格证份1
5 保修卡份1
6 分子泵润滑油瓶1
7 O型密封圈个1 胶圈密封LF接口专用
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6
5. 分子泵技术说明及简图
分子泵技术说明包括技术数据、抽速曲线、压缩比曲线、安装简图、排气口简图五部分。
5.1 分子泵技术数据
表4 分子泵技术数据表
分子泵型号FB-400/4200
进气口法兰LF100 CF100 LF160 CF160 LF160 CF160 LF160 CF160 LF200 CF200 LF200 CF200 LF250 CF250 LF250 CF250 LF250 CF250 LF400
抽气速率(l/s) 180 180 4200升/秒
N2 108
H2 5?102
极限压强pa ≤2?10-6 ≤2?10-7 ≤6?10-6 ≤6?10-7 ≤2?10-6 ≤2?10-7 ≤2?10-6 ≤2?10-7 ≤2?10-6 ≤2?10-7 ≤2?10-6 ≤2?10-7 ≤2?10-6 ≤2?10-7 ≤2?10-6 ≤2?10-7 ≤1?10-6 ≤1?10-7 ≤8?10-7
排气口法兰LF100
启动时间(min) ≤18分钟
额定转速(rpm) 16200转/分
振动值(mm) ≤0.2mm
建议采用前级泵30升/秒
充油量320ml
安装方式竖直±5°
冷却方式及温度水冷、水温?25℃
泵体烘烤温度<120℃
环境温度5℃∽40℃
重量(kg) 7 8 21.4/24 22/24.6 21 21.6 17.6 18.2 31 32 31 32 39 42 35/37 38/40 36 39 108kg
FF-160/750
FB-250/1600
FF-250/1600
压缩比
FF-200/1200
750升/秒1200升/秒1600升/秒
N2 109
H2 5?103
N2 109
H2 5?103
N2 108
H2 5?102
FF-160/620、
、620F、620N
620升/秒
N2 109
≤0.1mm
8升/秒12升/秒15升/秒
110ml
KF40 KF40
≤6分钟≤9分钟
36000转/分24000转/分
KF40
≤7分钟
27000转/分
水冷、水温?25℃
<120℃
H2 5?103
KF40
≤6分钟
30000转/分
≤0.1mm
5℃∽40℃ 5℃∽40℃
竖直±5° 竖直±5°
5℃∽40℃
水冷、水温?25℃ 水冷、水温?25℃ 水冷、水温?25℃
<120℃ <120℃ <120℃
竖直±5°
5℃∽40℃
≤0.1mm ≤0.1mm
110ml 110ml
FF-250/2000
2000升/秒
N2 109
H2 5?103
KF40
5℃∽40℃
FF-200/1300
1300升/秒
N2 109
H2 5?103
KF40
≤8分钟
30000转/分
≤0.1mm
12升/秒
110ml
竖直±5°
水冷、水温?25℃
<120℃
5℃∽40℃
<120℃
8升/秒
110ml
竖直±5°
≤0.1mm
4升/秒
无
竖直±5°
水冷、水温?25℃
<120℃
5℃∽40℃
FF-160/750Z
750升/秒
N2 109
H2 5?103
KF40
≤6分钟
36000转/分
≤0.1mm
8升/秒
无
任意角度
水冷、水温?25℃
≤10分钟
27000转/分
≤0.1mm
15升/秒
110ml
<120℃
5℃∽25℃
风冷
<120℃
5℃∽25℃
FF-250/1800
、1800F
1800升/秒
N2 109
H2 5?103
KF40
≤9分钟
24000转/分
≤0.1mm
15升/秒
110ml
竖直±5°
水冷、水温?25℃
FF-100/180Z
N2 109
H2 5?103
KF16
任意角度
≤4分钟
48000转/分
注：1.分子泵极限压强的获得,是按国家标准规定的测试规程,对泵体和测试罩进行充分烘烤(48 小时),在测试罩内得到的zuidi压强,即测试罩内所有残余气体压强的总和;
2.分子泵的极限压强与其所使用的前级泵的工作压强、有效抽速及分子泵高真空端的进气口法兰密封形式有关;
3.防腐分子泵充保护气体为φ 6 的快插接头，用φ 6×1.2 的PU 管连接，不用时可直接用专用堵堵上，风冷分子泵的环境温度要求：5℃～25℃。
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5.2 抽速曲线图
10-5 10-4 10-3 10-2 10-1 100 101 102
0
200
400
600
800
抽速(L/s)
压强(Pa)
图1 FF-160/750 对氮气抽速曲线
图2 FF-200/1200 对氮气抽速曲线
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10-5 10-4 10-3 10-2 10-1 100 101 102
0
200
400
600
800
1000
1200
1400
1600
1800
抽速(L/s)
压强(Pa)
图3 FB-250/1600 对氮气抽速曲线
10-5 10-4 10-3 10-2 10-1 100 101 102
0
500
1000
1500
2000
2500
3000
3500
4000
4500
5000
抽速(L/s)
压强(Pa)
图4 FB-400/4200 对氮气抽速曲线
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5.3 压缩比曲线图
10-1 100 101 102 103
102
103
104
105
106
107
108
109
1010
压缩比
前级压强(Pa)
图5 FF-160/620、FF-160/750、FF-200/1200、FF-250/2000 对氮气及氢气的压缩比
曲线
图6 FB-250/1600、FB-400/4200 对氮气及氢气的压缩比曲线
10-2 10-1 100 101 102
101
102
103
104
105
106
107
108
109
压缩比
前级压强(Pa)
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5.4分子泵安装简图
图7、FF-160/750Z安装简图
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图8、FF-160/620F安装简图
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图9、FF-160/620、FF-160/620F、FF-160/620N、FF-160/750安装简图
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图10 FF-200/1200、FF-200/1300安装简图
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图11、FB-250/1600、FF-250/1600安装简图
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图12、FB-400/4200安装简图
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5.5 分子泵排气口简图
图13 KF40 接口
图14 KF50 接口
图15 LF100 接口
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6.安装
6.1 注意事项
分子泵不能用于抽除液体或者带有粉尘、固体颗粒的气体；
除了耐腐蚀型泵以外，其他任何分子泵不能用于抽除腐蚀性气体，耐腐蚀型泵在抽除腐蚀性气体时，必须给分子泵的保护气体入口连续通惰性保护气体如氮气等，且泵油使用我公司提供的专用耐腐蚀分子泵油。
确认分子泵与电源相配套。每种泵都只能使用本说明书中规定的与之匹配的电源供电，否则造成的损失，本公司概不负责。
确认安装环境必须满足如下条件：
1) 泵体表面径向和轴向磁场强度均不得大于3mT(30Gs)；
2) 环境放射性强度<105rad；
3) 环境温度为5~40℃；
4) 空气相对湿度：≤85%；
5) 电压：220±22V，频率：50±1Hz；
6) 海拔：≤3000米。
安装前应检查分子泵运输中是否被损坏：打开泵高真空端法兰盖板，戴好手套，拨动涡轮转子，应转动灵活，无异常现象。若存在异常现象，应及时通知我公司，不得自行处理，否则由此带来损失我公司概不负责。
不允许将分子泵长期置于大气状态下存放，在打开进气口和排气口盲板时，应注意真空卫生要求，严禁杂物、灰尘等落入泵内。
安装环境应符合技术要求和真空卫生要求。
6.2 连接安装
6.2.1真空联接
分子泵的进气口和排气口法兰采用国际标准见表4分子泵技术数据表,尺寸见分子泵安装简图和分子泵排气口简图。注意：法兰密封面不得有划痕、刀口不得磕碰。
泵的联接可利用进气口法兰吊装或将泵置于基座平面上，但F-400/4200不建议吊装，若一定要吊装必须用活套法兰（订货时单独订购）固定。
分子泵的进气口法兰通过金属波纹管与系统联接时，分子泵必须固定。
为保护分子泵转子，防止外界物质落入泵内，可在泵口装上防护网，但装入此网后，抽速约降低15％左右。
前级泵与分子泵的联接应采用具有减震效应的金属波纹管，管路上应装有隔断放气阀，作为停机时对前级机械泵放气。放气阀可选用手动阀或电磁阀。放气过程的操作请参照停机部分。为保护泵体真空卫生，防止潮湿，放气时，可通氮气或干燥空气。
注意！！
分子泵吊装时，气体入口与真空腔体之间的连接管道不得长于200mm，否则可能产生焊缝拉裂、振动放大效应，对真空系统和分子泵产生危害；
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法兰刀口不得磕碰划伤、密封面不得有径向划痕，否则会降低抽气效果。
6.2.2 冷却水连接
采用清洁低沉淀的自来水，也可采用冷却水系统。对于高沉淀或腐蚀性水建议采用循环水系统，以防水管堵塞或腐蚀。冷却水流量不应低于1升/分，冷却水入口压力为0.1～0.2MPa，温度不应高于25℃，温度较高时，应加大冷却水流量。水嘴所接的水管为φ10x1mm, 分子泵的工作环境温度为不大于40℃。
6.2.3 加入润滑油
该泵出厂时为了运输中的安全，已把润滑油卸去。
注意！！
用户在初次使用分子泵时必须先加入润滑油。
操作过程如下：
a. 用扳手将紧固油池的螺钉松开，取下油池。
b. 从滤网外向油池中注入规定量的分子泵润滑油，即油面应处于油标上下限之间，不得低于油标下限，以保证轴承的良好润滑，油标为无色标志线。
c. 将油池紧固到泵体上。安装时注意胶圈的位置和卫生，螺钉对称拧紧，否则容易漏气。
注意！！
装油池时，要注意对称上紧，避免漏气。
分子泵润滑油采用不易裂变的低饱和蒸汽压的专用分子泵润滑油，不得用其他油品代替。润滑油应洁净，严禁污物、杂质和尘埃落入。必要时应对润滑油进行过滤。
注意！！
禁止使用其它的代用润滑油，违规操作的任何后果，用户自行承担。
6.2.4 电缆联接
电源电缆插头与分子泵下部的电源插座联接。联接时注意对准槽口方向插入，然后利用螺纹拧紧到位，请不要过分用力，以防插针弯折。
7 运行
7.1 运行前注意事项
电源必须是分子泵配套电源；
各项安装都已严格完成；
检查各种连接无误。
7.2 分子泵启动
7.2.1 分子泵启动方式确定
分子泵启动方式是指分子泵与前级泵的启动顺序，可分为同时启动和定压力启动两种。
一般情况下，分子泵和前级泵可同时启动，以防前级泵油上返。如果真空系统容
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积过大,应先启动前级泵，在真空系统压强P达到200帕时，即启动分子泵。判定标准如下：被抽系统为V[m3],前级泵抽速为Sr[m3/h]
同时启动：Sr/V＞40[h-1]
定压力启动：Sr/V≤40[h-1]
定压力启动压力：P=e(Sr/6V)×100[Pa]
7.2.2 启动冷却水系统
开启冷却水系统，并检查出水质量、水压、流量、温度等参数以及管路连接是否有漏水现象，如不合格及时调整和处理。
7.2.3 启动分子泵
根据7.2.1确定启动方式后，启动前级泵，同时确认前级泵与真空系统无误后，按动分子泵电源的“电源”按钮，指示灯亮，等显示屏显示红色数字后，按下“启动”按钮，该按钮指示灯亮，分子泵开始启动。
注意！！
当分子泵“电源”指示灯和“外控”指示灯同时亮时，分子泵启停不受“启动”按钮控制，由远程控制分子泵。
正常情况下，分子泵启动时间不应大于分子泵技术数据表中的启动时间。由于轴承的磨损或真空系统有漏等原因会造成负载加大从而使加速时间加长，用户在使用中应注意观察加速时间，从而判断泵的使用情况。
7.3 烘烤
对于获得10-4Pa的真空，原则上不必烘烤（湿度较大地区需要烘烤）；对于获得10-5Pa的真空，只烘烤真空系统本身就足够了；对于获得超高真空，真空系统和分子泵通常需要同时烘烤。测量系统的烘烤应充分，否则会由于其放气而影响测量数据的准确性。
烘烤应在真空度低于0.5Pa、分子泵运转情况下进行。
泵体的烘烤温度参见分子泵技术数据表，如果超过烘烤温度，可能会造成分子泵的损坏，真空系统的烘烤温度一般小于300℃。
烘烤的时间长短，根据系统及泵的污染程度和预期达到的极限工作压强而定，但最短不得少于4小时。
7.4 停机
按一下亮着的“启动”按钮，松开后自动弹开“启动”按钮,同时该按钮的指示灯熄灭，分子泵开始在电源的刹车作用下逐渐停止转动。
注意：停机时不要马上切断电源，否则停机时间很长。
真空系统停止工作时，一般应将分子泵充气到大气状态，以免前级对分子泵及真空室造成污染。
停机后，若要保持真空室的真空，则应用分子泵与真空室之间的阀门来实现，不宜使分子泵长时间保持真空，以至前级机械泵油蒸汽反扩散入真空室。
分子泵停转后,关闭冷却水,以防在泵内形成冷凝水。
