精密离子减薄仪

离子减薄仪（Precision Ion Polishing System ）：为整套TEM样品制备的zui后一道工序，经氩离子减薄的样品可在TEM 下直接观察。GATAN型号691zuixin一代精密离子减薄仪在标准配置中增加了低能量离子枪功能，zuidi离子枪能量只有0.1KeV，尤其适合能量敏感性样品。此外，刚刚新推出的可选配置液氮冷台，可满足用户对温度敏感性样品减薄的需求。

离子源
离子枪 两个潘宁离子枪与微型稀土永磁体
减薄角度 +10° 到 -10°，每个离子枪均独立可调节
离子束能量 100eV 到6.0 KeV
光束直径 5keV 下350μm FWHM - 宽离子枪5keV 下800μm FWHM
离子电流密度 最大 10mA/cm2
离子束调制 通过荧光屏精密调整离子束
离子束尺寸 通过气体控制调整
样品台
样品尺寸 3mm或2.3mm
底座 Gatan ZLDuoPost（标准）或者石磨载台（可选配）
旋转速率 1rpm - 6rpm
离子束调制 针对特殊横截面可选择单面或双面减薄
观测器 双目显微镜 40X或80X
CCD相机搭配17’’LCD显示器 300x-2200x（可选配）

真空
干燥泵系统 两个部分，隔膜机械泵搭配一个70 升/秒涡轮分子泵
压力 5E-6 Torr（6.6E-4Pa）基本压力
8E-5 Torr（10.7E-3Pa）工作压力
真空计 样品室冷阴极标尺，搭配固态压力传感器
样品调换 GatanZL WhisperlokTM，样品更换时间＜1分钟
样品的Airlock <30 秒

尺寸及功率
总尺寸 560mmW x 480mmD x 430mmH (22W x 19D x 17H)
货运重量 45kg （100 lbs）
能量消耗 运行时需200W，离子枪关闭时需100W
电源要求 通用电压 100VAC-240VAC，50/60Hz（用户需确定电压和频率）
气体 氩气 25psi （1.42 bar,0.18 MPa）

PIPSTM是一台深受客户信赖的精密离子减薄仪，能够以最小的耗费制作出高质量透射电镜用样品

ZD强调容易使用的特点，PIPSTM还具有完全手工控制，可靠，操作简便，易于维修的特点。Gatan PIPSTM包括了几个独特的设计特点。

高减薄速率，低角度小于1度

潘宁枪零部件无消耗

whisperlokZL快速、简单交换样品

双面样品载台（ZL），低角度减薄

离子束调制提供单面和双面部分减薄

CCD图像“实时”影像监视录影（可选配）

化学辅助离子束刻蚀（CAIBE），大大提高了半导体材料的细化（可选配）