日本三丰超级轮廓测量仪CV-3000CNC

特点

高精度CNC轮廓/形状测量仪。

X1,(Y)和Z2的驱动速度都高达200mm/s，确保实现高速定位，从而大大提高了多轮廓测量和多工件测量任务的速度。

带α轴的型号，可通过电动旋转X1轴连续测量水平面和倾斜面。

CV-4000CNC系列的驱动装置集成了激光全息光栅尺检出器，可以在Z1轴（垂直方向）的窄/宽范围内实现高精度和高分辨率测量。

带有Y轴工作台的型号可以沿着Y轴进行多种工件定位，从而扩大了多工件测量范围。

可以通过同时控制X，Y两轴，对斜面进行测量。

Z1轴检出器集成了防碰撞安全装置，当主机和工件或夹具碰撞时，检出器将自动停止。

提供易于操作的控制盒，用户可以通过这两个操纵杆选择合适的轴进行移动。在按键上标有易于理解的图形显示轴的选择状态。

通过USB与数据处理/分析装置（选件）进行信息交换。

技术参数

X1轴

测量范围: 200mm

分辨率: 0.05μm

测量速度: 0.02-2mm/s

直线度: 2μm/200mm

指示精度（20℃时）: ±（1+4L/200）μm（CV-3000CNC）

±（0.8+4L/200）μm（CV-4000CNC）

α轴

倾斜角度: -45°(CCW）-+10°(CW）

分辨率: 0.000225°

倾斜范围: 6°/S

Z2轴（立柱）

垂直移动: 300mm或500mm

分辨率: 0.05μm

Z1轴（检测器）

测量范围: ±25mm

分辨率: 0.2μm（CV-3000CNC）

0.05μm（CV-4000CNC）

指示精度（20℃时）: ±（2+|4H|/100）μm（CV-3000CNC）

±（0.8+|0.5H|/25）μm（CV-4000CNC）

测力: 30mN

测针针尖: 半径：25μm，硬质合金针尖

Y轴

测量范围: 200mm

分辨率: 0.05μm

直线度: 2μm/200mm

指示精度（20℃时）: ±（2+2L/100）μm