详细介绍
质量流量计（MFM）用于对气体的质量流量进行精密地测量。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。
标 准:
气体质量流量用氮气(N2)标定。标准状态规定为：
标准温度………………0℃（273.15K）
标准压强………………101325Pa
输入和输出:
输入电源………………+15V,50mA,-15V,50mA
输出电压检测…………0～+5.00V
技术参数：
| 满量程流量范围（N2） | 5SCCM～10SLM | |
| 控制范围 | 2～100％F.S. | |
| 准确度 | ±1.5％F.S. | |
| 线性 | ±0.5～1.5％F.S. | |
| 重复精度 | ±0.2％F.S. | |
| 响应时间 | ≤7sec | |
| 工作温度范围 | 5～45℃ | |
| 工作压差 | ＜0.01MPa | |
| 耐压 | 3MPa | |
| 漏气率 | 1×10-8atm.cc/sec He | |
| 密封材料 | 氟橡胶（或氯丁橡胶） | |
| 电插头形式 | DB15 pin(Female) | |
| 接头选择 | VCR | 1/4”或φ4hose、φ6hose |
| Swagelok | 1/4”或φ6、φ3 | |
| 抗电磁干扰 | CE | |
| 重量 | 0.92Kg | |
主要特点：
★高性能价格比、普通型产品
★橡胶密封、模拟电路的MFM
★7B型的更新换代型
★管状分流，使用寿命长
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仪企号
北京七星华创电子股份有限公司
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