详细介绍
德国BMT SMS专家级测量系统（共聚焦原理）
SMS专家级测量系统（共聚焦原理）依据不同的需求配置不同的传感器：光谱传感器、三角测量传感器、白光干涉系统、共焦传感器、自聚焦传感器、触针式传感器。
主要用途.
◆ 任何粗糙、光滑表面检查和测量（可选用不同的传感器）
◆ 用于金属片、纸、玻璃塑胶、晶片、刀具等行业
◆ 其他表面的微观形貌测量
◆ 微型机械元件的尺寸测量
◆ 金相测量
◆ 微小或较大区域内直线度、平面度、台阶高度、粗糙度的测量计算
主要特点
● 非接触测量表面形貌，2D/3D，垂直和横向尺寸测量；
● 粗糙和光滑表面测量；
● 粗糙度参数测量，FFT，ACF，平面斜面及台阶高度测量；
● 金属片，玻璃，塑料，晶片及其他物体的微观形貌；
● 表面反射率对测量结果无影响。
技术参数
共聚焦显微镜头
● 垂直测量范围 （mm） 1
● 垂直分辨率 （nm） 30
● 横向分辨率 （μm） 3
● 工作距离，约 （mm) 24
● 光斑尺寸，约 （μm) 6
● 测试频率 （kHz） 1～10
移动平台
● X、Y、Z轴 （mm） 50
● 步长 （μm） 0.5
