详细介绍
热反射（Thermo-Reflectance）方法基于超高速激光闪射系统，可测量基片上金属、陶瓷、聚合物薄膜的热物性参数，如：热扩散系数、导热系数、蓄热系数和界面热阻。由于激光闪射时间仅为纳秒（ns）量级，甚至可达到皮秒（ps）量级，此系统可测量厚度低至10nm 的薄膜。同时，系统提供不同的测量模式，以适应不同的基片情况（透明/ 不透明）。
技术参数：
NanoTR | ||
温度范围 | RT | |
测量模式 | RF/FF | |
样品尺寸 | 10*10mm … 20*20mm | |
薄膜厚度 | RF: 金属：1 … 20μm 陶瓷：300nm … 5μm 聚合物：30nm … 2μm FF：> 1μm | |
基片厚度 | < 1 mm | |
热扩散温升时间 | 10ns … 10μs | |
热扩散系数（mm2/s） | 0.01…1000mm2/s | |
操作系统 | Windows 7 | |
