纳米平移台（压电马达型，10-1500mm行程）

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详细介绍

产品负责人：

姓名：李工(William)

电话：156 1809 2363（微信同号）

邮箱：wentao-li@auniontech.com

XLS系列线性位移平台，是由超声波压电马达驱动，可提供不同行程的精确定位。由于采用超声波压电马达驱动，速度可达到200mm/s，并且该平台非常适用于扫描，可提供恒定的扫描速度，速度不稳定性低于2%。

该平台采用超声波马达，对于这种马达平台的运动是通过接触点的椭圆振荡产生。如下图所示。通过椭圆的振荡推动平台产生微小移动，并通过高频率产生极高的速度，并且没有噪声，电机在定位后可产生自锁，由于马达在椭圆振荡的上端才会与平台接触，大大提高平台的使用寿命通常在10-100km。

XLS系列平台可提供不同的行程，行程范围可达到92mm。为了适应不同精度要求的应用，平台集成不同精度的位置传感器，根据闭环系统中传感器的精度可分为以下几类线性平台

1）集成-1250位置传感器的压电马达平台-min setp1250nm，

	XLS-1-40	XLS-1-50	XLS-1-60	XLS-1-70	XLS-1-80	XLS-1-100	XLS-1-120	Unit
travel range	27	32	37	42	50	72	92	mm
resolution	1250							nm
unidirectional repeatability	±1250							nm
bidirectional repeatability	±2500							nm
load capacity	0.5							kg
holding force	1							N
driving force	1							N
max. speed	200							mm/s
min. speed	2 to 5							mm/s
cable length	1.5							m

2）集成-312位置传感器的压电马达平台-min setp350nm

	XLS-1-40	XLS-1-50	XLS-1-60	XLS-1-70	XLS-1-80	XLS-1-100	XLS-1-120	Unit
travel range	27	32	37	42	50	72	92	mm
resolution	350							nm
unidirectional repeatability	±350							nm
bidirectional repeatability	±700							nm
load capacity	0.5							kg
holding force	1							N
driving force	1							N
max. speed	200							mm/s
min. speed	2 to 5							mm/s
cable length	1.5							m

3) 集成-78位置传感器的压电马达平台-min setp80nm

	XLS-1-40	XLS-1-50	XLS-1-60	XLS-1-70	XLS-1-80	XLS-1-100	XLS-1-120	Unit
travel range	27	32	37	42	50	72	92	mm
resolution	80							nm
unidirectional repeatability	±80							nm
bidirectional repeatability	±160							nm
load capacity	0.5							kg
holding force	1							N
driving force	1							N
max. speed	200							mm/s
min. speed	2 to 5							mm/s
cable length	1.5							m

4) 集成-1位置传感器的压电马达平台-min setp25nm

	XLS-1-40	XLS-1-50	XLS-1-60	XLS-1-70	XLS-1-80	XLS-1-100	XLS-1-120	Unit
travel range	27	32	37	42	50	72	92	mm
resolution	25							nm
unidirectional repeatability	±25							nm
bidirectional repeatability	±50							nm
load capacity	0.5							kg
holding force	1							N
driving force	1							N
max. speed	200							mm/s
min. speed	2 to 5							mm/s
cable length	1.5							m