一、 概述
硫粉预热器采用管内测控温以保证在250℃以下,稳定控制硫蒸汽的蒸发时机和蒸发温度。真空机组装有真空粉尘过滤器以保护机械式真空泵不被硫粉尘损坏。采用耐腐蚀电阻电容复合真空计(在1000Pa以上测量不受气体种类影响,耐硫蒸气腐蚀),通过调节真空蝶阀的开启程度调节炉管内压力稳定,在1200℃以下的工艺温度稳定气相沉积二硫化钼等二维化合物材料。
二、 设备组成
HCVD-1200S双温区管式炉,HTF400C硫粉预热器(双温区管式炉与预热器可滑动),质量流量计供气系统,机械式真空泵等组成。
三、 主要技术参数
硫粉预热器
型号:HTF-400C
工作温度:350℃
MAX温度:400℃
MAX升温速率:30℃/min
推荐升温速率:10℃/min
控温方式:智能化30段可编程控制
工作电压:AC220 V额定功率:800W
控温精度:±1℃
加热元件:电阻丝
双温区硫化炉
型号:HCVD-1200S
技术参数:额定功率(KW):3
额定电压(V):AC220v 50/60 Hz
MAX温度(℃):1200(1 hour)
持续工作温度(℃):1100
升温速率(℃/min):≤50
炉管尺寸(mm):高纯石英管Φ50×1500mm
加热区长度(mm):440mm
恒温区长度(mm):200mm
控温方式:模糊PID控制和自整定调节,智能化30段可编程控制,具有超温和断偶报警功能
控温精度(℃):±1
加热元件:电阻丝
供气系统GMF3Z
质量流量计重量:35Kg
外形尺寸:600x600x650mm
连接头类型:双卡套不锈钢接头
标准量程(N2标定):50sccm、200sccm、500sccm; (可根据用户要求定制)
准确度:±1.5%线性:±0.5~1.5%重复精度:±0.2%
响应时间:气特性:1~4 Sec,电特性:10 Sec
工作压差范围:0.1~0.5 MPa MAX压力:3MPa
接口:Φ6,1/4''
显示:4位数字显示
工作环境温度:5~45℃
内外双抛不锈钢管:Φ6
压力真空表:-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格
截止阀:Φ6
低真空机组VAU-02
技术参数:
空气相对湿度≤85%
工作电电压:220V±10% 50~60HZ
功率:1千瓦
抽气速率:4L\s
极限真空:4X10-2Pa
实验真空度:1.0X10-1Pa
容油量:1.1L
进气口口径:KF25
排气口口径:KF25
转速:1450rpm
噪音:50dB
外型尺寸:450×180×240mm
配真空粉尘过滤器,DN25手动蝶阀用于控制炉管内压力,INFICON PCG554复合真空计
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