bruker台阶仪代理商-上海尔迪仪器科技有限公司

Bruker Dektak 台阶仪是五十多年专有技术进步的顶峰。它们提供可重复、可靠和准确的测量:从传统的台阶高度测量和二维粗糙度的表面表征到高级三维形貌和薄膜应力分析。bruker台阶仪已被广泛接受为薄膜厚度、应力、表面粗糙度和形貌测量的金标准，应用到从学术研究到半导体过程控制等不同领域。

薄膜监测 — 高效率的保证

对于半导体制造行业而言，及时监测镀膜膜厚和刻蚀速率的均匀性以及薄膜应力，

能节省宝贵的时间和金钱。不均匀的膜层或过大的应力，将导致差的优良率和不合格

的终端产品性能。DektakXT 易于设定、测量快捷，通过不同位置的多点自动测量可确

认整片硅表面上薄膜的准确厚度，其精度可达纳米级别。DektakXT 的测量重复性

为工程师们提供准确的薄膜厚度和应力测量，使其可以精确调节刻蚀和镀膜工艺来提

高产品的优良率。

测量表面粗糙度 — 确保材料质量

在自动化，航空航天，医药领域等各行各业，如果需要精确测量材料表面的粗糙度，

DektakXT 是一个非常理想的检测仪器。比如在整形手术中需要植入的假体，在其背面

涂覆的羟基磷灰石，它的表面粗糙度会影响假体植入到体内后的黏附性和手术效果。使

用 DektakXT 快速检测材料表面的粗糙度，可以获悉晶体材料的生长是否符合工程师的

要求，或者手术所需的植入体是否通过医学审核允许使用。使用 Vision64 软件中的数

据库功能，设定合格/淘汰条件，品管人员可以轻松确定植入体是否需要再加工还是定

为合格品。

太阳能电池栅线分析——降低生产成本

在太阳能领域，Dektak 已被作为测量单晶和多晶硅电池上主栅、银线特征尺寸的首

选设备。栅线的高度、宽度和连续性都直接影响了太阳能电池的能量传输能力。生产

过程中的佳方案是节约贵金属银的使用量，同时又保证银浆的量足够覆盖在电池板上，

完成佳的电导特性。 DektakXT 可使用线条分析功能为用户提供栅线的特征尺寸，以

确保足够的银浆覆盖，导电良好。Vision64 的数据分析方法和自动操作功能使这一检验

核实的过程可以通过特定设置后自动完成。

微流体- 确保符合设计和质量要求

Dektak 是市场上可以测量敏感材质上高达 1mm 垂直台阶的台阶仪，而且测量重复

性在埃米级别。DektakXT 为微机电系统和微流体工业的研究者提供了关键尺寸测量的可靠

手段，以确保器件符合规格要求。超微力测量，Nlite+，可以保证在测量敏感材质时轻触

其表面而不破坏样品表面，得到台阶高度或表面粗糙度数据。

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