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CIF中试型等离子清洗机CPC-12系列
  • 品牌:CIF
  • 型号: CPC-12
  • 产地:承德
  • 样册:暂无
  • 供应商报价: 面议
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收藏  关注度: 895
CIF中试型等离子清洗机CPC-12系列 核心参数
自动化: 手动 样品腔尺寸: H120xΦ370mm
样品腔容积: 12.8L 射频功率: 40KHz/13.56MHz
详细介绍


产品特点:

 可模拟生产条件,便于小批量中试生产。

 桌面型,占用空间小。

 性能稳定,操作简便,使用成本低,易于维护,性价比高。

 有效处理面积大,可处理8寸硅片去胶等应用。

 可处理不同几何形状、表面不同粗糙程度的金属、陶瓷、玻璃、硅片、塑料等样品,进行清洗和改性。

技术参数:

型号

CPC-12

CPC-12plus

舱体尺寸

H120xΦ370mm  

H120xΦ370mm

舱体容积

12.8L

12.8L

射频电源

40KHz

13.56MHz

匹配器

自动匹配

自动匹配

射频功率

10-300W可调

10-300W可调

气体控制

质量流量计(MFC)(标配单路,可选双路)

大处理尺寸

Φ370mm圆盘

产品尺寸

L618xW520xH465mm

包装尺寸

L750xW640xH570mm

时间设定

1-99分59秒

真空泵

抽速约8m3/h

气体稳定时间

1分钟

真空度

100pa以内

电 源

AC220V 50-60Hz  



产品优势
CIF推出全新一代CPC系列桌面型、可中试生产、模拟生产条件的等离子体清洗设备,几乎具备等离子体清洗设备所有的功能。具有较大的腔体尺寸和样品处理面积,使用成本低,性价比高,易维护,处理快速高效,特别适合于大学,科研院所和光电企业实验室小批量中试生产。
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