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北京欧波同光学技术有限公司
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氩离子抛光制样经验分享

发布:北京欧波同光学技术有限公司
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微纳米颗粒 (针对200μm以下样品)

应用范围:微纳米材料内部结构分析

例    如:锂电池阳极材料、微纳米颗粒

颗粒类的样品多数利用扫描电镜检测形貌、粒度统计、能谱并做一些长度测量,但是一旦涉及内部结构观察普通制样方式很难达到要求。

制样方式缺点
研钵研磨/刀片压碎只能看到断面的情况,而且成功率不高,电镜观察需要费时寻找
镶嵌包埋需要机械抛光,容易脱落;耗时;需考虑镶嵌料对样品影响

举例来讲,图1是客户要求观察颗粒表面和断面形貌,研钵研磨后,结果并不理想,视野内可见大量碎裂颗粒,且断面情况各异更无法进行测量等工作。

图  1

图2是用Gatan Ilion II设备抛光后结果,可见视野内颗粒全部切开,截面平整,易于观察测量;图3为局部放大,颗粒内部结构一览无余。

图  2

图  3

图  4

图  5

电子元器件

应用范围:各类微元器件

电子元器件由于其越来越微小、越来越复杂,其失效时很难定位,也很难用普通手段看清其内部结构(图6)。图中结果用Ilion II 进行处理,局部放大图片能够看到几十个nm结构,后续进行分析带来极大便利。

图  6

我们再来看一例(图7)

图  7

红框1局部放大,可见有10层结构

图  8

红框2局部放大,一目了然

图  9

2021-01-06
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