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等离子加工监控器

 
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多波段等离子加工监控器 C10346-01
  • 品牌: 日本滨松
  • 型号:C10346-01
  • 产地:日本
  • 多波段等离子加工监控器C10346-01是专门用于监视半导体各种制造工艺(包括蚀刻,溅射,清洁和...

等离子加工监控器

等离子加工监控器主要用于监控半导体制造中的蚀刻,溅射和在CVD过程中检测宽谱等离子体发射。

等离子加工监控器技术资料
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