详细介绍
| 产品名称： | Al2O3+Si薄膜(SOS)进口料(大尺寸Silicon-on-Sapphire) |
常规尺寸： | dia100;单抛 |
技术参数： | Si晶向：<100> Si掺杂类型：本征；不掺杂 Si厚度：0.6um+/-0.06um Si电阻率：>100ohm.cm Al2O3基片：Rplanewithsingleflat Al2O3尺寸：dia100x0.53mm 平面度（flatness）：10um 平行性（Parallelism)：20um 抛光情况：单抛ProjectedC-Axis:45degree+/-2degree 备注：可按照客户要求在CplaneAl2O3上镀Si |
标准包装： | 1000级超净室100级超净袋真空包装或单片盒装 |
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