【PMS动态】PMS助力科百特超净工艺微污染控制

PMS助力科百特

超净工艺微污染控制

       2021年11月19日，在美丽的杭州萧山，集成电路材料产业技术创新联盟（以下简称“材料联盟”）与杭州科百特过滤器材有限公司（以下简称“科百特”）联合成功举办了集成电路超净工艺技术Workshop。

       随着半导体工艺节点不断演进，晶圆表面的洁净要求也越来越严苛。晶圆表面微污染杂质是影响芯片良率和芯片产品性能的关键因素。为应对高阶工艺对微污染控制提出的新挑战和新需求，此次技术研讨会邀请到了60余位半导体制造、硅材料、光刻胶、高纯湿化学和抛光材料等相关行业的技术专家参会，共同探讨新技术要求下的洁净控制。

       会议上，杭州市萧山区政府领导倪世英、集成电路材料产业技术创新联盟石瑛秘书长、科百特CEO Kevin、上海集成电路研究院董事长俞文杰为大会做了精彩的致辞。

       科百特CEO Kevin介绍了科百特专注在膜技术的发展，从微孔膜发展到现在的1nm的纳米膜，主要应用于两大产业——生物制药和集成电路，生物制药主要用于chu菌过滤，蛋白和病毒的浓缩和分离；在集成电路领域，可用于光刻、清洗、刻蚀和抛光等200多个工艺点的微污染过滤和纯化，最小精度已经做到1nm。

       此次会议特别邀请了武汉新芯集成电路制造有限公司首席运营官孙鹏、上海华力集成电路制造有限公司先进模块湿法研发专家李芳科长、安集微电子科技(上海)股份有限公司应用总监王胜利和杭州科百特过滤器材有限公司CTO山田善章(Yamada Yoshiaki)做了精彩报告。

       参观

       11月19日下午，本次参会的技术专家参观了科百特半导体滤芯百级洁净车间、7000平技术验证中心、200L超净包装桶和高纯化学品内衬设备制造车间，大家感叹科百特高速发展和通过技术攻克解决进口依赖表示高度赞赏，对科百特半导体的战略发展给予积极的评价。

       科百特拥有业界领先的半导体滤芯制造技术，对微污染监测精度已经关注到20nm的微粒，美国粒子监测系统公司（简称PMS）拥有业界领先的20nm微粒监测产品和应用解决方案，此次大会中科百特也向半导体行业领先的高端供应商和终端客户等与会代表介绍了行业领先的20nm化学品粒子监测仪器PMS Chem20。

       化学品折射率不同将影响粒子计数结果，为了应对不同介质并提供更准确的监测结果，PMS专门设计了两种型号的Chem20供客户选择：

Chem 20：适用于折射率较低的化学品

Chem 20-HI：适用于硫酸和其他折射指数较高的化学品

       Chem 20化学品粒子计数器是一款实用性很强的工具，在化学品中的颗粒污染物影响工艺和设备性能之前，它便能够快速检测化学品中的颗粒污染物，覆盖化学品输送从装卸码头到生产流程节点的整个过程。Chem20在国际领先的半导体工厂已经被广泛使用并得到了市场的认可。

       美国粒子监测系统公司 (PMS) 是 Spectris plc 旗下子公司，秉承先进的quan球污染监测技术，也是激光粒子计数的发明者，现在是专业的供应商，为超洁净环境中生产产品的公司提供监测和控制多种污染形式的完整解决方案，帮助其摆脱污染的影响。

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       科百特专注于纳米膜材料的研发和生产，致力于为quan球集成电路制造和生物制药产业提供创新的过滤纯化解决方案。目前员工超过4000名，工程师超过1000名，总部设在杭州，在上海、北京、台湾、日本、韩国和新加坡的子公司为quan球106个国家及地区的20000多家客户提供服务。半导体业务是科百特最为重要的战略方向之一，除了过滤产品，科百特在近两年不断地拓展半导体行业应用的产品线，包括AMC 空气过滤、脱气膜、内衬设备、高纯化学品包装桶、PFA阀件，均可解决卡脖子问题，科百特正在努力朝着quan球领先的全流体解决方案供应商的方向迈进。