| 仪器种类: | 在线 | 流量类型: | 大流量 |
产品介绍：
灵敏度: S02: 0.2 - 2.0 µm, S03: 0.3 - 3.0 µm, S05: 0.5 - 20.0 µm
LiQuilaz® II 液体粒子计数S系列
LiQuilaz® II 系列液体粒子计数器是体积式粒子计数器，有不同的灵敏度，高灵敏度的粒子计数器可监测小至0.2um的粒子。她们为大多数工艺化学品提供高精密分析，例如氢氟酸和高达306°F (150 °C)的热腐蚀剂。
LiQuilaz II 粒子计数器的测量结果具有准确性、可靠性和重复性，深受客户信任。 LiQuilaz II 粒子计数器具有RS-485和以太网网络通信功能，新功能提高了监测的灵活性，而且使安装变得更加简单。
体积式粒子计数器通过监测100%采样体积（多达80 毫升/分）提供高精确度的结果，所以短时间采样的数据结果也具有统计意义。
特点
特点
0.3 -3.0μm大小区间
流量是80 ± 10% 毫升/分钟
和广泛工艺化学品相兼容
体积小巧，可以轻松安装在制程的任何位置
用户可选择的粒径值
优点
产量改进
实时表征和分析粒子污染，对粒子污染的反应速度快
全量监测，具有更高的监测精确度，适用于更严格的制程控制
可选购的软件具有报警设置、状态显示、采样设置、在线支持等功能，便于制程控制
支持广泛的应用和流体
配合压缩或是注射采样器使用
和不同管道标准兼容
嵌入、批次采样能力
RS-485网络兼容
操作简易
体积小巧，可以轻松安装在制程的任何位置
灵活的软件为实时或检索数据提供了许多可见的选择
用户可选择的粒子大小范围
应用
使用压缩采样进行冒泡的化学品测量
化学质量保证
工艺槽监测
去离子水监测
化学品传输系统
光刻胶监测
可用的配件
Facility Net软件
Facility Net软件提供了一项全面环境监测的解决方案，包含实时的以及历史数据显示。兼容的PMS粒子计数器和分子污染监测器，以及各种第三方产品。
液体安装套件
与在线应用一起使用，液体安装套件包括一个 Flaretek®扩口工具，25英尺又1/4英寸氟烷氧基烷烃管子和阳螺纹接头
毛细管清洁套件
毛细管清洁套件和Flaretek®适配器冲洗微细管并且包含：两个10cc注射器以及两个Flaretek®管子配件
通信配件
LiQuilaz粒子计数器通过RS-485协议进行通信，所以需要通信配件。根据配置，你可能需要2个电缆和一个 BB485转换器。如果 LiQuilaz设备是菊链式（比如：串联连接），一个九针串行电缆可以连接2个设备。如果电脑没有一个九针串行端口，也需要一个USB串口转换器
腐蚀性液体采样器安装套件
腐蚀性液体采样器安装套件包括：一个Flaretek®扩口工具，三个盖子，25英尺又1/4英寸全氟烷氧基烷烃管子以及10英尺又1/4英寸聚酯流量管道
