详细介绍
Veeco(之前称之为Cambridge Nanotech)已经有15年以上的ALD研发生产经验。2003年Cambridge Nanotech成立于哈佛大学，05年搬到Boston并生产出Thermal ALD - Savannah, 之后生产出Plasam ALD - Fuji、批量生产ALD-Phoenix。2017年被Veeco收购，并更新了Batch HVM ALD - Firebird。至今为止，Veeco在ALD设备已有15年多的经验，全球已安装五百多台ALD设备。
Firebird Batch Thermal ALD System
方式: Thermal batch ALD
优势:完全自动化的批量生产系统，**生产能力（每月最多40000片），zuidi的成本，最高的产量，极优的一致性针对脆弱/温度敏感的衬底解决方案，包括LNO/LTO/玻璃模块化热管理，以实现**工艺灵活性和产量
薄膜: 氧化物薄膜，包含封装层、光学涂层氧化物薄膜，包含封装层、光学涂层
反应腔体大小: 无缝晶片尺寸转换能力高达300mm
- 产品分类
- 品牌分类
- 光谱仪/拉曼光谱仪
- 科学级CCD 探测器
- 光学光电与太阳能光伏
- 太阳能相关
- IC封装与测试
- 晶圆制造
- 激光器/功率计
- 等离子刻蚀设备(PECVD)/反应式离子刻蚀(RIE)/Remover
- 镀膜设备
- 光刻胶耗材
- （美国）美国PV measurements
- （美国）美国CrystaLaser
- （美国）美国科洛玛
- （美国）普林斯顿
- （美国）美国Semrock
- （美国）美国Photometrics
- （美国）美国BNC
- （美国）SONIX
- （美国）美国RTI
- （德国）德国YXLON
- （韩国）韩国NOST
- （美国）美国Nisene
- （美国）维易科
- （美国）美国Royce
- （美国）美国Ocean Insight
- （美国）丹顿真空
- （美国）相干
- （美国）美国Micro Control Comp
- （法国）法国普发真空
- （美国）美国Mechanical Devices
- （美国）赛默飞世尔
- （美国）美国WEB Technology
- （日本）日本Nippon Kayaku
- （美国）inTEST
- （美国）美国HILEVEL
- （美国）美国Akrometrix
- （德国）德国Microtronic
- （德国）德国布鲁克
- （以色列）以色列Camtek
- （美国）美国Frontier Semiconductor
- （日本）奥林巴斯
- （美国）美国Jelight
- （英国）英国AML
- （美国）美国DJ MicroLaminates
- （美国）美国OAI
- （美国）美国IMP
- （美国）美国Chemcut
- （荷兰）荷兰Trymax
- （韩国）韩国Suhwoo
- （美国）美国Filmetrics
- （美国）美国Heller INDUSTRIES
- （美国）美国Qimaging
- （美国）美国Mechanical Devices
- （荷兰）荷兰Lambert
- （美国）美国安维谱
- （美国）美国ONDAX
- （德国）德国PVA TePla
- （德国）德国LTB Lasertechnik Berlin
- （美国）美国MicroChem
- （美国）美国EOS
- （美国）美国ABET Technologies
- （美国）美国IPS
- （香港）香港Teltec
- （加拿大）加拿大gentec-eo
- （美国）美国DJ Devcorp
- （英国）英国LaserQuantum
- （丹麦）丹麦NIL TECHNOLOGY
-
仪企号
香港电子器材有限公司
-
友情链接
