等离子体发射测量
在紫外线…近红外线范围可同时观察到等离子发射
低压等离子沉积技术是一个客观的连续不断的过程，如PVD（物理气象沉积）是今天真正的问题之一。除了等离子体发射光的表观检查，有时也使用质谱技术。但是质谱技术既不方便操作，其结果也不容易理解。与此相比，使用OES（发射光谱）和光纤耦合TranSpec光谱仪的有点是显而易见的。
技术特征
在200…1000nm光谱范围内可同时测量
可检测非常底的发射信号
可连接到几乎每个真空室
无需维护
舒适和易于使用的PEMProVis专业版软件
用于全球主要的汽车灯以及CD生产商进行有机膜厚测试
