全自动化的XPS系统采用一束扫描、聚焦、单色化的Al X射线源以及一束扫描、聚焦、单色化Cr X射线源用于高空间分辨率的化学态分析和HAXPES* ( 硬X射线光电子能谱分析）。Al单色化X射线能量是1486.7 eV，Cr单色化X射线能量是5414.9 eV。单色化Cr X射线源分析深度是Al单色化X射线源的3倍。
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