异型光学平台

特   点：

·台面为三层夹心蜂窝状支撑结构，采用Icr17高导磁不锈钢

·隔振材料采用精密型专业阻尼减振器和国标级阻尼隔振垫

·固有频率最小可达3Hz，减震性能强

·可根据客户需求定制异型（L字型、T字型、V字型等）精密光学平台

主要参数：

·平面度不大于0.05mm/㎡

·表面粗糙度小于0.8um～1.6um

·固有频率3Hz～6Hz

·振幅不大于5um

·重复定位精度+0.05mm