迈测仪器MFC热式气体质量流量控制器C30

概要

C30经济型气体质量流量控制器和C30M型气体质量流量计采用毛细钢管传热和温差量热原理测量气体的质量流量，其中质量流量控制器可以对气体的质量流量进行精确的控制。由于温差量热只和气体的质量流量相关，所以气体的温度和压力变化不会影响到测量值。

本型号产品的满量程可以在 5SCCM到 10SLM的范围内任意定制，性价比高，是同类产品中价格zuidi的一款。

特点 

国内同类产品价格zuidi

稳定性和可靠性高

±0.2％F.S.的高重复精度

满量程可以在 5SCCM到 10SLM的范围内任意定制

可应用于大多数腐蚀性气体

同类产品尺寸最小

安装尺寸国际兼容

应用 

           真空镀膜设备

微反应装置

晶体制备设备

混气配气设备

燃烧测试设备

气相色谱仪及其它分析仪器 

      标定标准                        

         标定气体：氮气(N2)

        标定温度和压力：  温度—273.15 K（0℃）

                             气压—101325 Pa（760mm Hg）

输入输出信号

0～+5.00V (输入阻抗大于100kΩ，输出电流不大于3mA)

流量规格(N2标定)

         0～5,10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM

         0～1,2,3,5,10,20,10SLM

         注：满量程流量不限于此处列出的流量规格，可以在5SCCM～10SLM范围内任选，例如123SCCM。

应用行业

         化学工业、石化工业、LNG工业、半导体材料和微电子工业、医药工业、特种材料研究、环保和真空行业等。使用本产品的设备主要有：真空镀膜设备、混气配气设备、光纤熔炼设备、晶体制备设备、微电子设备、微反应装置、气相色谱仪及其它分析仪器等。