上海致东全光谱椭圆偏光测厚仪

**台国人自行开发
波长范围：360nm-950nm
快速量测：＜6Sec
全自动量测（Recipe Driver）
精密量测膜厚及折射率（反射率：option）
各种功能的光学常数量测和光谱特性分析
椭偏参数精度：≤±0.01 for Tan(φ)；≤±0.01 for Cos (Δ)
可直接量测镀膜在透明基板，而无需在基板背面打毛及染黑（ITO on Glass、SiN on Glass）