美国泽伊塔轮廓仪

Zeta3DTM测量系统

ZETA-300

基于ZDotTM点阵ZG技术的3D光学轮廓仪

Zetaduchuang的ZDotTM点阵ZG技术是测量各种复杂表面形貌的理想选择，包括透明的多层结构、低反射率、低对比度、高粗糙度或高度落差很大的表面结构，除此之外，ZDot在测量高纵横比的孔和沟时更是有着无与伦比的效果。ZDotTM点阵ZG技术提供了最大可能高效的光路设计，其Z向精确的光学测量是白光干涉仪和激光共聚焦显微镜所不能达到的。强大卓越的测量能力加之内置集成的防震设施以及精简美观的机械结构使得Zeta-300成为了所有研究及生产相关应用领域最wan美的解决方案。

多功能光学测量模组

Zeta-300测试系统提供多种光学测试技术，满足用户各种应用领域的测试需求：  

ZDotTM  Z点阵ZG三维成像技术，是Zeta所有系列产品的标配技术，该技术结合背光和暗场照明以及各种规格的光学物镜，使Zeta3D光学轮廓仪可以分析测量最为“困难”的表面结构。

ZIC 干涉反衬成像技术，可对纳米级粗糙度表面成像及测量。

ZSI  白光差分干涉技术，搭配任意物镜可实现Z向埃级分辨率的测量能力。

ZX5 ，ZX100白光干涉技术，保证Z方向纳米级分辨率的同时，提供大视野范围内的测量和统计分析。

ZFT  膜厚测试技术，集成光谱仪，通过拟合反射光谱测量薄膜厚度

应用领域

Zeta-300 测试系统支持多功能测试选项，根据客户实际需求可配备不同的光学模组、载台、样品台、照明系统及分析软件。高精度和高重复性的设备性能是科研和工业生产最理想的选择。如下为实际应用举例：
LED, PSS & 缺陷监控

PSS 的尺寸、高度和周期

PR和AlN的厚度

AOI缺陷测试及分类

2寸、 4寸和6寸兼容吸真空载台
微流体和MEMS器件结构分析

透明或半透明的多层结构分析

高纵横比结构分析，如深沟壑结构等
可编程测试菜单及自动化扫描
灵活的硬件功能选项

暗场或背光照明系统

 金刚石划线标记系统

6物镜自动切换装置

金刚线测量装置

晶圆或光盘倒角测量装置

长工作距离物镜，折射率校正或浸没式物镜

……更多选项

技术规格

产品尺寸(mm)                                               

系统 (长X宽X高)：813 x 940 x 1550 电压: 100 - 230 VAC

显示器：559 x 127 x 407    电流: 4A

总重量：360lbs/164 kg     工作温度: 18-30oC，非冷凝，                                                ±1oC 每小时

性能配置

3D 成像:                     ~ 1 秒/点 (ZIC)
                                       ~ 10 秒/点 (ZSI)
                                       ~ 30 秒/点 (ZDot)

像素分辨率:             0.09 μm (0.5x耦合镜 + 100x物镜)

最小Z轴步距:          2 nm (压电陶瓷传动)
                                      13 nm (精密丝杠传动)

Z轴分辨率：            0.1Å (ZSI)

                                      13 nm (ZDot)

重复性3：               ±15 nm (1σ)3  （或±1%）

系统配置

相机选项：            640x480, 1024x768, 1280x960

                                  1920x1440

总放大率：           35,000x (光学和数字放大)

系统光源：           2个大功率白光LED

自动载台：          最大200mm x 200mm (XY 方向)

Z轴测试范围：    40mm标配（100mm可选）