扫描电子显微镜SEM3000 核心参数
电子枪: | 钨灯丝 | 加速电压: | 5kv-30kv |
放大倍数: | 8-100000倍 | 分辨率: | 优于10nm |
详细介绍
一、扫描电子显微镜SEM3000产品概述:
扫描电子显微镜SEM3000是一款使用钨灯丝的高性能扫描电子显微镜。观察亚微米级的微观结构,放大倍数可达到100000倍。此型产品具有快速更换灯丝的优点。其分辨率轻松优于10 nm。在自动五轴样品台的配合下,非常适用于生产品质控制及样品筛选,适合传统光学显微镜无法满足需求的用户。
二、扫描电子显微镜SEM3000产品应用:
三、扫描电子显微镜SEM3000产品参数:
扫描模式
行扫:2 ms-80 ms 帧扫:0.4 s-160 s
快扫模式:512x512像素(可选256x256像素)
观察模式:1024x1024像素(三档速度)
拍照模式:4096x4096像素(三档速度, 可选1024x1024像素)
真空系统
主泵:涡轮分子泵
前级泵:旋片式机械泵
系统极限真空度:5 x 10^-4Pa(涡轮分子泵)
探测器
二次电子、背散射电子(选配)、X能谱仪(选配)
样品台
X、Y、Z、R、T 五轴电动样品台
X:50 mm;
Y:50 mm;
Z:40 mm;
R:360°;
T:-15° 到+60°
安装要求
电源:AC220 V;50 Hz;2KVA
地线:独立地线一条,小于10Ω
温度:15 ℃-30 ℃
湿度:≤70%
地面震动:≤5 μm/sec
交流磁场:≤0.3 μT
门宽:≥900 mm
外形尺寸和重量
主机 :700(W)x750
D)x1450(H);160 kg
产品优势
扫描电子显微镜SEM3000是一款使用钨灯丝的高性能扫描电子显微镜。观察亚微米级的微观结构,放大倍数可达到100000倍。此型产品具有快速更换灯丝的优点。其分辨率轻松优于10 nm。在自动五轴样品台的配合下,非常适用于生产品质控制及样品筛选,适合传统光学显微镜无法满足需求的用户。
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