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武汉迈可诺科技有限公司
主营产品:匀胶旋涂仪,等离子清洗机,光刻机,压片机,薄膜测厚仪,显影腐蚀机,紫外臭氧清洗机
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美国临界点干燥仪
  • 品牌:美国Tousimis
  • 型号: Automegasamdri-915B
  • 产地:美国
  • 样册:暂无
  • 供应商报价: 面议
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详细介绍


美国临界点干燥仪Automegasamdri®-915B,系列B

特点:

6”圆晶MEMS释放后的超临界点干燥仪;

洁净室和防静电兼容设计;

通过微处理控制器来保证自动处理过程的进行及结果的可重复性;

所有内表面均适用于液态二氧化碳、高纯乙醇和丙酮;

可重复设定的操作参数确保了结果的可重复性;

每个操作模式LED显示,一目了然;

集成自动控温;

内置圆盘裂片保证安全;

可以一次干燥5片直径为6”的圆晶,更换样品架,也可以一次干燥5片直径4”、3”、2”的圆晶或5片边长为10mm的方晶(提供HF兼容的样品架);

静态压力控制模块,自动控制系统压力和保持压力稳定性;

0.4μm内部过滤器系统输送清洁的过滤后的LCO2到样品室;

内腔有照明灯,样品室盖子带观察窗,便于观察样品室内部状态;

拥有gao效隔热的冷却系统,使系统能够迅速从室温降到将近0°C;

标配SOTERTM冷凝器,分离废弃乙醇和废气二氧化碳。

样品室填块可以调整样品室内径到4”、3”,2”,1.25”,使LCO2的使用效率和处理时间;

所有电气部件符合UL、CE和U.S.Military标准;

 

美国临界点干燥仪规格:

外部尺寸:宽14.25” (36.2 cm) × 高11.75” (29.8 cm) × 长25.0” (63.5cm);

占地尺寸:宽42” (107 cm) × 深30” (76 cm);

样品室尺寸:内径6.50” × 深1.25”,样品室容积:679 ml;

温度范围:- 30 ℃ 至 60 ℃,压力范围:0 - 2000 psi;

LCO2的流速是通过带游标卡尺的微型微型计量阀门来控制;

120V/50-60HZ(可选其他电压);

 

 

标准配件:

高压不锈钢LCO2管(内衬Teflon) 3 米长;

外部LCO2过滤装置,去除水/油以及颗粒(小至0.5μm),过滤装置可预先与LCO2管连接,安装方便;

SOTERTM冷凝器,分离废弃乙醇和废气二氧化碳,降低排气噪音;

防静电排气管,用于PURGE/VENT/BLEED和COOL时的排气;

内部的不锈钢过滤系统和镀镍的过滤系统共同保护线路、晶片和阀门

样品室O型圈3个,样品室照明灯2个,5 A保险丝2个;

4个Teflon样品室填块,使得样品室直径包括6”、4、3、2和1.25英寸;

直径为6、4、3、2英寸圆晶的样品架和边长为10 mm方晶样品架,样品架HF兼容;

流量计,可精确控制BLEED的排气速率;

用户手册;

所有部件一年质保。


产品优势
Tousimis成立于1962年,拥有50余年的美国临界点干燥仪(Critical Point Dryers, CPD)设备制造经验。Tousimis自成立之初就一直致力于技术革新,引领着临界点干燥设备行业的发展。Tousimis可提供直径从1.25英寸到8英寸的晶片临界点干燥仪,其因技术先进、操作简便、可靠性高而世界,已在材料、化工、生物、制药、MEMS器件、MOF、生物传感器等领域
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