详细介绍
使用MicroXact手动探针台进行IV，CV和低电流测试，可提供半导体器件表征所需的精确和精确测量。由于提供多种选项和MicroXact手动探针台的灵活性，晶圆上的晶圆级电容和低电流测试从未如此简单。
特征
手动平台组装可提供额外的预载滑块，便于装载和卸载晶圆或样品。
手动控制压板和卡盘Z位置，进行粗调和微调。
光滑的铸钢压板可容纳多达10个磁性或真空定位器。
同轴和三轴卡盘以及外壳可用于低泄漏电流测试。
标准吊杆安装组件，用于显微镜的全范围XYZ定位。
可用的高分辨率微定位器，带80TPI螺钉，用于探针的μm级定位
可用的高分辨率微定位器，带80TPI螺钉，用于探针的μm级定位。
可用的RF选项包括可定制的RF探头，RF卡盘和屏蔽罩。
型号 | SPS-1000 | SPS-2000 | SPS-2200 |
晶圆尺寸 | 高达150mm | 高达100mm | 高达200mm |
XY舞台行程 | 100mmx100mm或150mmx150mm标准 | 高达125mmx125mm | 高达200mmx200mm |
系统尺寸 | 56厘米宽x 51厘米深x 61厘米高 | 92米宽x 122厘米深x 92厘米高 | |
系统重量 | 35kg至45kg，具体取决于所选的选项 | ~70公斤 |
产品优势
SPS-1000，SPS-2000和SPS-2200系统是MicroXact首要的手动探针台，设计灵活且易于使用。这些手动探针系统的高性能和经济性使它们属于自己的一类。凭借高达200mm的晶圆功能，DC或RF探头和可选的热卡盘以及各种屏蔽选项，我们的探针台可用于广泛的应用，例如故障分析，可靠性测试，IV / CV测试，低目前的测试，微波和射频表征等等。
- 产品分类
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- 匀胶机，旋涂仪
- 等离子清洗机
- 光刻机，紫外曝光机
- 压片机，热压机
- 紫外臭氧清洗机
- 等离子去胶机
- 快速退火炉
- 加热台，烤胶机
- 显影腐蚀系统
- 平板硫化机
- 程序剪切仪
- 薄膜测厚仪
- 探针台
- 紫外固化箱
- 反应离子刻蚀机
- 原子层沉积系统
- 等离子处理系统
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- 烤胶机，热板
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- 振实密度仪
- 光刻胶
- 纳米压印胶
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