详细介绍
SPS 2600-HP,SPS 2800-HP和SPS 12000-HP系列系统是MicroXact的半自动探针台,设计灵活,易于使用,可用于gao效设备表征,晶圆级可靠性测试和故障分析。这些半自动探针台系统设计用于支持最多200mm晶圆的手动和半自动探测。
高分辨率复合显微镜。
偏光显微镜。
广泛的相机选择。
射频可偏置卡盘和屏蔽罩。
抛光镀金可调节真空吸盘。
超完全真空泵。
温度范围为-65°C至> 400°C的热卡盘(也可以使用更高的温度)。
适用于超声波和激光切割的系统。
可选择XY平移台和超坚固的焊接钢桥,用于高分辨率显微镜。
高分辨率复合显微镜。
偏光显微镜。
广泛的相机选择。
射频可偏置卡盘和屏蔽罩。
抛光镀金可调节真空吸盘。
超完全真空泵。
温度范围为-65°C至> 400°C的热卡盘(也可以使用更高的温度)。
适用于超声波和激光切割的系统。
可选择XY平移台和超坚固的焊接钢桥,用于高分辨率显微镜。
型号 | SPS-12000-HP | SPS-2800-HP | SPS-2600-HP |
晶圆尺寸 | 高达300mm | 高达200mm | 高达100mm |
电机类型 | 步进电机 | ||
XY舞台行程 | 高达300mmx300mm | 高达200mmx200mm | 高达100mmx100mm |
馈通终端 | BNC,Triax或香蕉插头 | ||
系统尺寸 | 101CM宽x91CM深x 88CM高 | 122CM宽x122CM深x 92CM高 | 78CM宽x80CM深x 58CM高 |
产品优势
SPS 2600-HP,SPS 2800-HP和SPS 12000-HP系列系统是MicroXact的半自动探针台,设计灵活,易于使用,可用于GX设备表征,晶圆级可靠性测试和故障分析。这些半自动探针台系统设计用于支持zui多200mm晶圆的手动和半自动探测。
- 产品分类
- 品牌分类
- 匀胶机,旋涂仪
- 等离子清洗机
- 光刻机,紫外曝光机
- 压片机,热压机
- 紫外臭氧清洗机
- 等离子去胶机
- 快速退火炉
- 加热台,烤胶机
- 显影腐蚀系统
- 平板硫化机
- 程序剪切仪
- 薄膜测厚仪
- 探针台
- 紫外固化箱
- 反应离子刻蚀机
- 原子层沉积系统
- 等离子处理系统
- 折射率匹配液
- 显微镜浸油
- 光学凝胶
- 封固胶
- 硼酸片
- 浸入液
- 激光液
- 纳米压印机
- 引线键合机
- 光谱仪
- 分光光度计
- 烤胶机,热板
- 刮涂机
- 混合搅拦机
- 振实密度仪
- 光刻胶
- 纳米压印胶
- 碳纸
- 清洁剂
- 电镜耗材
- 实验室耗材
- 点胶机
- 太阳光模拟器
- 临界点干燥仪
- 显微镜检测系统
- 搅拌脱泡机
- 超声喷涂机
- 导电胶
- (美国)美国CARVER
- (英国)英国Quorum
- (美国)美国PIE
- (美国)美国泰德派勒
- (美国)美国恩科优
- (德国)德国维世科
- (美国)美国ANRIC
- (日本)日本三永
- (美国)美国novascan
- (美国)美国Tousimis
- (美国)美国Dake
- (其它)爱尔兰Ash
- (英国)英国EMS
- (美国)Angstrom Advanced In
- (美国)美国Uvitron
- (美国)美国Micromanipulator
- (瑞士)瑞士KINEMATICA
- (日本)日本Kakuhunter
- (美国)美国Anatech
- (美国)美国Sonaer
- (美国)美国MicroXact
- (瑞士)SOLARONIX
- (希腊)希腊ThetaMetrisis
- (美国)美国Cargille
- (荷兰)荷兰Jipelec
- (美国)美国Plasma Preen
- (美国)美国Plasma Etch
- (德国)德国APT Automation
- (美国)美国托尔
- (美国)Trion
- (加拿大)Plasmionique
- (美国)美国SSI
- (美国)UVOCS
- (英国)Ossila
- (美国)美国Dymax
- (美国)美国AXIC
- (美国)卡吉尔
- (丹麦)丹麦NIL
- (法国)法国JFP
- (美国)美国Futurrex
- (德国)Micro Resist
- (美国)美国加德纳
- (美国)美国高泰检测
- (德国)德国SPS-保罗
- (美国)美国MicroChem
- (日本)日本东丽
- (美国)美国劳瑞尔
- (美国)美国Alconox
- (美国)美国Harrick
- (英国)Agar Scientific
-
仪企号武汉迈可诺科技有限公司
-
友情链接