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Bell Jar 35 研究型等离子清洗机
  • 品牌:德国Diener
  • 型号: Bell Jar 35
  • 产地:德国
  • 样册:暂无
  • 供应商报价: 面议
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详细介绍

Bell Jar 35 等离子设备是一种研究设备,其专为科学试验所研发。该设备即适用于热蒸发,溅射 ,电子束蒸发,SEM(扫描电子显微镜)样品制备的金属涂层,也适用于传统的等离子体工艺。

 

基本设备

。外壳约宽560MMx高1640MMx深620mm

。腔室容积:约35升

。供电电源:230V/16A

 

气源

。3个质量流量控制器(MFCs)

 

真空腔室

。硼硅玻璃材质的玻璃罩,直径315MMx高500MM

 

溅射源

。1个溅射源2"-3"+挡板(可为反应过程选配排烟管和进气口)

 

基材支架

。直径140MM(可选择旋转型,基材加热器,基材冷却装置)

。可切换为等离子预处现的电极(清洗,活化,蚀刻)

 

控制系统

。PCCE控制系统(Microsoft Windows XPe)

 

压力测量

。Pirani

 

发生器

。频率:40KHz, 功率 0-500W

             13.56MHz, 功率 0-300W

。直流偏置电源或单极性脉冲,最大功率300W,最大电压600V,直流电

。发生器为 0-100% 无级可调型

 

真空泵

。规格和制造商均各有不同(按照活性炭过滤器的需要)

 

其它选项

备件套件,压力计,腐蚀性气体设计结构,气瓶,减压器,加热板,温度显示器,加热型腔室,Faraday Box, 等离子体聚合配件,试墨水,氧气发生器,慢速通风装置,慢速抽吸装置,TEM样品架法兰,维护/服务,当地语言的文件,现场安装,包括培训,可应需求提供的其它选项。


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