URE-2000/25 型紫外单面光刻机
技术参数
。曝光面积:4 英寸
。曝光波长:365nm
。分辨力:1 μm(胶厚 2 μm的正胶)
。对准精度:± 0.8μm
。掩模样片整体运动范围:X:15mm;Y:15mm
。掩模尺寸:2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸
。样片尺寸:直径 Ф15mm-- Ф100mm(各种不规则片),厚度 0.1mm--6mm
。曝光方式:定时和定剂量
。照明不均匀性: 3%( Ф100mm 范围)
。双目双视场对准显微镜:既可通过目镜目视对准,也可通过 CCD+显示器对准,光学合像,光学倍数 400 倍, 光学+电子放大 800 倍
物镜三对:4 倍、10 倍、20 倍
目镜三对:4 倍、10 倍、20 倍
。掩模相对于样片运动行程:
X: ±5mm; Y: ±5mm; Thelta: ±6º
。焦厚:350μm(SU8 胶,用户提供检测条件)
。光源平行性:3.5 º
。曝光能量密度:>20mW/cm2,照明面温度<35 º
。汞灯功率:350W(直流,进口)33
2.外形尺寸:1200mm(长)x900mm(宽) x1750mm(高)
3.配置
(1)曝光头
。冷光椭球镜
。350W 进口直流高压汞灯(德国欧司朗)
。XYZ 汞灯调节台
。冷却风扇
。光学系统:固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜 1、准直镜镜 2、蝇眼透镜组(79 个透镜)、i 线滤光片、场镜1、场镜 2、冷光反射镜 1、反射镜 2
(2)对准工件台
。掩模样片整体运动台
。掩模样片相对运动台
。转动台
。样片调平机构, 手动
。样片调焦机构,手动
。承片台 3 个(Ø50mm 、Ø75mm 、 Ø100mm)
。掩模夹 4 个(2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸)
。基片抽拉式上下机构
(3)对准显微镜
。光源(配备品 2 只)、电源
。双目双视场对准显微镜主体
。目镜 3 对(10 倍、16 倍、20 倍,共 6 个)
。CCD 及 21 英寸液晶显示器
。物镜 3 对(4 倍、10 倍、20 倍,共 6 个)
(4)电控系统
。汞灯触发电源(350W 直流汞灯)
。单片机控制系统
。控制箱
(5)气动系统
。气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等
。电磁阀驱动
。气动仪表
(6)其他附件
。真空泵一台
。空压机一台
。管道
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