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深圳市蓝星宇电子科技有限公司
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URE-2000/25 型紫外单面光刻机
  • 品牌:中科院
  • 型号: URE-2000/25
  • 产地:成都
  • 样册:暂无
  • 供应商报价: 面议
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详细介绍

URE-2000/25 型紫外单面光刻机

 

技术参数

。曝光面积:4 英寸

。曝光波长:365nm

。分辨力:1 μm(胶厚 2 μm的正胶)

。对准精度:± 0.8μm

。掩模样片整体运动范围:X:15mm;Y:15mm

。掩模尺寸:2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸

。样片尺寸:直径 Ф15mm-- Ф100mm(各种不规则片),厚度 0.1mm--6mm

。曝光方式:定时和定剂量

。照明不均匀性: 3%( Ф100mm 范围)

。双目双视场对准显微镜:既可通过目镜目视对准,也可通过 CCD+显示器对准,光学合像,光学倍数 400 倍, 光学+电子放大 800 倍

                        物镜三对:4 倍、10 倍、20 倍

                        目镜三对:4 倍、10 倍、20 倍

。掩模相对于样片运动行程:

       X: ±5mm; Y: ±5mm; Thelta: ±6º

。焦厚:350μm(SU8 胶,用户提供检测条件)

。光源平行性:3.5 º

。曝光能量密度:>20mW/cm2,照明面温度<35 º

。汞灯功率:350W(直流,进口)33

 

2.外形尺寸:1200mm(长)x900mm(宽) x1750mm(高)

 

3.配置

(1)曝光头

。冷光椭球镜

。350W 进口直流高压汞灯(德国欧司朗)

。XYZ 汞灯调节台

。冷却风扇

。光学系统:固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜 1、准直镜镜 2、蝇眼透镜组(79 个透镜)、i 线滤光片、场镜1、场镜 2、冷光反射镜 1、反射镜 2

 

(2)对准工件台

。掩模样片整体运动台

。掩模样片相对运动台

。转动台

。样片调平机构, 手动

。样片调焦机构,手动

。承片台 3 个(Ø50mm 、Ø75mm 、 Ø100mm)

。掩模夹 4 个(2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸)

。基片抽拉式上下机构

 

(3)对准显微镜

。光源(配备品 2 只)、电源

。双目双视场对准显微镜主体

。目镜 3 对(10 倍、16 倍、20 倍,共 6 个)

。CCD 及 21 英寸液晶显示器

。物镜 3 对(4 倍、10 倍、20 倍,共 6 个)

 

(4)电控系统

。汞灯触发电源(350W 直流汞灯)

。单片机控制系统

。控制箱

 

(5)气动系统

。气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等

。电磁阀驱动

。气动仪表

 

(6)其他附件

。真空泵一台

。空压机一台

。管道


产品优势
URE-2000/25 型紫外单面光刻机,曝光面积:4 英寸,分辨力:1 μm(胶厚 2 μm的正胶),对准精度:± 0.8μm
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