URE-2000S/25A 紫外双面光刻机

技术参数

。曝光面积：6 英寸

。曝光波长：365nm：

。功率密度：＞25mW/cm2

。分辨力：1 μm

。正面双目双视场对准显微镜：

既可通过目镜目视对准，也可通过 CCD+显示器对准，光学合像，光学倍数 400 倍，光学+电子放大 800倍，物镜三对：4 倍、10 倍、20 倍；目镜三对：4 倍、10 倍、20 倍

。正面立式双 CCD 对准系统，光学放大，0.65-4.5 倍；具备侧向光源

。底面面对准：采用双显微物镜+CCD+采集卡+计算机合像，物镜轴距范围 10mm-148mm

。对准精度：±2 μm（双面，片厚 0.8mm），±0.8 μm（单面）

。掩模尺寸：3 英寸、4 英寸、5 英寸、7 英寸

。样片尺寸：：2 英寸、3 英寸、4 英寸、6 英寸，厚度 0.1mm--2mm(双面)

。曝光方式：定时和定剂量

。照明不均匀性： 2.5%（ Ф100mm 范围），4%（ Ф150 mm 范围）13

。掩模相对于样片运动行程：

      X: ±5mm; Y: ±5mm; Thelta: ±6 度

。汞灯功率：350W（直流，进口）

。调平接触压力通过传感器保证重复

。数字设定对准间隙和曝光间隙

。具备压印模块接口，也具备接近模块接口

。最大胶厚：350  μm（SU8 胶，用户提供检测条件）

。光源平行性：3.5°

外形尺寸：1300mm（长）x900mm(宽) x1800mm（高）

配置

（1）曝光头

。冷光椭球镜

。350 W 进口直流高压汞灯(德国欧司朗)

。XYZ 汞灯调节台

。冷却风扇

。光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜 1、准直镜镜 2、蝇眼透镜组（79 个透镜）、i 线滤光片、场镜1、冷光反射镜 1、反射镜 2

（2）对准工件台

。掩模样片相对运动台

。转动台

。样片调平机构,自动完成

。样片调焦机构，气缸自动调

。承片台 4 个（2 英寸、3 英寸、4 英寸、6 英寸）

。掩模夹 4 个（3 英寸、4 英寸、5 英寸、7 英寸）

。掩模抽拉式上下机构

（3）双目双视场对准显微镜（带 CCD，目镜和监视器可同时观测）

。光源、电源

。双目双视场对准显微镜主体

。目镜 3 对（10 倍、16 倍、20 倍，共 6 个）

。物镜 3 对（4 倍、10 倍、20 倍，共 6 个）

。立式双 CCD 光学对准系统 14

。侧向对准光源

（4）底面 CCD 对准系统

。光源、电源

。成像光学系统

。数据采集卡

。CCD

（5）电控系统

。汞灯触发电源(350W 直流汞灯)

。单片机控制系统

。控制柜桌

。计算机系统（21 英寸宽屏液晶显示器）

（6）气动系统

。气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等

。电磁阀驱动

。气动仪表

（7）其他附件

。真空泵一台（无油泵）

。空压机一台 （音静泵）

。管道