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URE-2000/35A 型紫外单面光刻机
  • 品牌:中科院
  • 型号: URE-2000/35A
  • 产地:成都
  • 样册:暂无
  • 供应商报价: 面议
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详细介绍


URE-2000/35A 型紫外单面光刻机

1.技术特征——非常适合工厂(效率高,操作傻瓜型,全自动)和高校教学科研(可靠性好,演示方便)采用自动找平,具备真空接触曝光、硬接触曝、压力接触曝以及接近式曝光四种功能,自动分离对准间隙和消除曝光间隙,采用 350W 进口(德国)直流汞灯,可调节光的能量密度。设备外形美观精制,性能非常可靠,自动化程度很高,操作十分方便。
 
2.技术参数
。曝光面积:6 英寸
。曝光波长:365nm
。分辨力:1-1.2μm(胶厚 2 μm的正胶)
。对准精度:±0.8μm
。掩模样片整体运动范围:X:15mm;  Y:15mm
。掩模尺寸:3 英寸、4 英寸、5 英寸、7 英寸
。样片尺寸:直径 ±15mm-- ±150mm(各种不规则片) 21厚度 0.1mm--6mm
。曝光方式:定时(倒  计时方式)和定剂量
。具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光,以及接近式曝光四种功能
。照明不均匀性: 6%(±150mm 范围)
。双目双视场对准显微镜:既可通过目镜目视对准,也可通过 CCD+显示器对准,光学合像,光学最 大倍数 400 倍,光学+电子放大 800 倍
           物镜三对:4 倍、10 倍、20 倍
           目镜三对:10 倍、16 倍、20 倍
。调平接触压力通过传感器保证重复
。数字设定对准间隙和曝光间隙
。具备压印模块接口,也具备接近模块接口
。掩模相对于样片运动行程:
  X: ±5mm; Y: ±5mm; Thelta: ±6º
。最 大焦厚:350μm(SU8 胶,用户提供检测条件)
。光源平行性:3.5 º
。曝光能量密度:>15mW/cm2,照明面温度<35 º
。单层曝光一键完成
。采用球气浮自动找平
。汞灯功率:350W(直流,进口)
 
3.外形尺寸:1200mm(长)x900mm(宽) x1750mm(高)
 
4.配置
 
(1)曝光头
。冷光椭球镜
。350W 进口直流高压汞灯(德国欧司朗)
。XYZ 汞灯调节台
。冷却风扇
。光学系统:固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜 1、准直镜镜 2、蝇眼透镜组(79 个透镜)、i 线滤光片、场镜、冷光反射镜 1、反射镜 2
 
(2)对准工件台
。掩模样片整体运动台
。掩模样片相对运动台
。转动台
。样片调平机构,三点自动完成22
。样片调焦机构,电机自动调
。基片抽拉式上下机构
。承片台 4 个:15mm 、3 英寸、4 英寸、6 英寸(可按用户要求增减)
。掩模夹 4 个:3 英寸、4 英寸、5 英寸、7 英寸(可按用户要求增减)
 
(3)对准显微镜
。光源(配备品 2 只)、 电源
。双目双视场对准显微镜主体
。目镜 3 对(10 倍、16 倍、20 倍,共 6 个)
。物镜 3 对(4 倍、10 倍、20 倍,共 6 个)
。CCD 对准系统,21 寸液晶显示器
 
(4)电控系统
。汞灯触发电源(350W 直流汞灯)
。单片机控制系统
。控制柜桌
 
(5)气动系统
。气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等
。电磁阀驱动
。气动仪表
 
(6)其他附件
。真空泵一台
。空压机一台
。管道


产品优势
URE-2000/35A 型紫外单面光刻机,,非常适合工厂(效率高,操作傻瓜型,全自动)和高校教学科研(可靠性好,演示方便)采用自动找平,具备真空接触曝光、硬接触曝、压力接触曝以及接近式曝光四种功能,自动分离对准间隙和消除曝光间隙,采用 350W 进口(德国)直流汞灯,可调节光的能量密度。设备外形美观精制,性能非常可靠,自动化程度很高,操作十分方便。
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