URE-2000/35 AL 型紫外单面光刻机
主要技术参数:
(1)曝光面积:150mm×150mm;
(2)照明不均匀性: ≤4%( Ф 150mm 范围);
(3)分辨力:1.0μm(365nm 波长)
(4)对准精度:≤±0.8μm;
(5)掩模尺寸:2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸、7 英寸;
(6)样片尺寸:直径 Ф 15mm-- Ф 150mm、厚度 0.1mm--6mm;
(7)掩模相对于样片运动行程:X: ±5mm; Y: ±5mm; Thelta:±6°;
(8)掩模样片整体运动范围:X:6mm;Y:6mm
(9)曝光光源:紫外 LED(进口);
(10)曝光波长:365nm;
(11)曝光强度:≥15mW/cm2 ;
(12)曝光定时:倒 计时方式(0.1s—9999.9s 任意设定).
(13)调平接触压力通过传感器保证重复
(14)数字设定对准间隙和曝光间隙
(15)具备压印模块接口,也具备接近模块接口
技术构成与配置
设备由曝光头系统、对准工件台系统、CCD 对准显微镜系统、电控系统、气动系统等部分构成。
(1)曝光头系统包括:
◆ 进口紫外 LED 光源模块;
◆ LED 光源整形模块;
◆ XYZ 光源位置调节台;
◆ 光学系统(含整形模块、可变光栏、电子快门、蝇眼透镜组(79 个透镜)、场镜组、反射镜组);
◆ 冷却风扇。
(2)对准工件台系统包括:
◆ 掩模样片相对运动台(XY);
◆ 转动台;
◆ 样片调平机构,采用三爪加球气浮自动调平方式;
◆ 样片调焦机构,采用电机加传感器方式,可数字分离曝光间隙;
◆ 承片台 4 个(2 英寸、3 英寸、4 英寸、6 英寸各 1 个);
◆ 掩模夹 4 个(3 英寸、4 英寸、5 英寸、7 英寸各 1 个)。
(3)CCD 对准显微镜系统包括:
◆ 对准光源 LED 灯;
◆ 双目双视场对准显微镜主体;
◆ 目镜 3 对(10 倍、16 倍、20 倍,共 6 个);
◆ 物镜 3 对(4 倍、10 倍、20 倍,共 6 个);
◆ CCD 部件;
◆ 22 英寸宽屏液晶显示器。
(4)电控系统包括:
◆ 单片机控制系统;
◆ 紫外 LED 电源模块;
◆ 控制柜桌。
(5)气动系统包括:
◆ 气缸、电磁阀、减压阀、气动开关、电磁阀驱动、气动仪表等 。
(6).辅助设备配置:
◆ 真空泵 1 台(干泵);
◆ 静音空气压缩机 1 台;
◆ 配套接管 10m;
(7).备品备件
◆ 对准光源灯 4 只(LED-1W,不包括机器自带的两只)
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