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深圳市蓝星宇电子科技有限公司
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URE-2000/30 型紫外单面光刻机
  • 品牌:中科院
  • 型号: URE-2000/30
  • 产地:成都
  • 样册:暂无
  • 供应商报价: 面议
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详细介绍


URE-2000/30 型紫外单面光刻机

 

1.技术特征

。高倍率双目双视场显微镜和 22 英寸宽屏液晶显示同时观察对准过程,并提供 USB 输出;既满足高精度对准,又可用于检测曝光结果,且曝光结果和方便存储

。采用倒置式照明,更换汞灯更方便,散热和防漏光效果更好

。对准位和曝光位双工位工作,双工位自动切换

。采用嵌入式计算机+触摸屏操作,操作更方便,更时尚

。上下片、版十分方便,自动化程度高,操作简便。对高校教学科研(可靠性好,演示方便)及工厂(效率高)尤为适宜

 

2.技术参数

。曝光面积:100mm×100mm(可升级为 6 英寸)

。曝光波长:365nm

。分辨力:≤1 μm(胶厚 1.5 μm 的正胶)

。对准精度:±0.6 μm

。显微镜扫描台运动范围:X:10mm;Y:10mm

。掩模尺寸:2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸

。样片尺寸:直径Ф 15mm-- Ф 100mm(各种不规则片)厚度 0.1mm--6mm

。曝光方式:定时(倒 计时方式)和定剂量

。具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光,以及接近式曝光四种功能30

。照明不均匀性: 3%(Ф 100mm 范围)

。双目双视场对准显微镜:既可通过目镜目视对准,也可通过 CCD+显示器对准,光学合像,光学最 大倍数 400 倍,光学+电子放大 800 倍

                        物镜三对:4 倍、10 倍、20 倍

                        目镜三对:10 倍、16 倍、20 倍

。曝光对准双工位自动切换

。调平接触压力通过传感器保证重复

。数字设定对准间隙和间隙

。具备压印模块接口,也具备接近模块接口

。掩模相对于样片运动行程:

            X: ± 5mm; Y: ± 5mm; Thelta: ± 6º

。最 大焦厚:400 μm(SU8 胶,用户提供检测条件)

。光源平行性:3 º

。曝光能量密度:>25mW/cm2,照明面温度<35 ºC

。单层曝光一键完成

。采用球气浮+三爪找平

。汞灯功率:350W(直流,进口)

 

3.外形尺寸:1400mm(长)x900mm(宽) x1500mm(高)

 

4.配置

 

(1)曝光头

。冷光椭球镜

。350W 进口直流高压汞灯(德国欧司朗)

。XYZ 汞灯调节台

。冷却风扇

。光学系统:固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜 1、准直镜镜 2、蝇眼透镜组(79 个透镜)、i 线滤光片、场镜、冷光反射镜 1、反射镜 2

 

(2)对准工件台

。光刻机底座

。工位切换台(气缸)

。掩模样片整体运动台

。掩模样片相对运动台

。转动台

。样片调平机构,三点自动完成31

。样片调焦机构,电机自动调

。基片抽拉式上下机构

。承片台 4 个:Ф 15mm 、Ф 40mm、Ф 60mm、Ф 100mm(可按用户要求增减)

。掩模夹 4 个:2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸(可按用户要求增减)

。样片抽拉式上下机构

 

(3)对准显微镜

。光源、 电源

。双目双视场对准显微镜主体

。目镜 3 对(10 倍、16 倍、20 倍,共 6 个)

。物镜 3 对(4 倍、10 倍、20 倍,共 6 个)

。CCD 对准系统,22 寸液晶显示器

 

(4)电控系统

。汞灯触发电源(350W 直流汞灯)

。单片机控制系统

。控制面板

。控制柜桌

 

(5)气动系统

。气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等

。电磁阀驱动

。气动仪表

 

(6)其他附件

。真空泵一台

。空压机一台

。配套接口管道

 


产品优势
URE-2000/30 型紫外单面光刻机,高倍率双目双视场显微镜和 22 英寸宽屏液晶显示同时观察对准过程,并提供 USB 输出;既满足高精度对准,又可用于检测曝光结果,且曝光结果和方便存储
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